[发明专利]致动器装置、电子设备、以及控制方法

权利要求书

1.一种致动器装置，其特征在于，具备：

彼此相对的一对基板；

使所述一对基板间的间隙尺寸变化的多个静电致动器；

能够独立于所述静电致动器驱动的控制用静电致动器；

检测所述间隙尺寸的间隙检测部；以及

控制所述多个静电致动器各自的驱动的驱动控制单元，

所述多个静电致动器分别能够独立地驱动，

所述驱动控制单元基于对所述多个静电致动器各自施加的电压和由所述间隙检测部检测出的所述间隙尺寸，导出用于驱动所述多个静电致动器中的各静电致动器的驱动参数，

所述驱动控制单元导出用于将所述一对基板维持为平行的平行控制电压作为所述驱动参数，

所述多个静电致动器各自为被施加偏压的偏压用静电致动器，

所述驱动控制单元将所述平行控制电压作为所述偏压施加于所述偏压用静电致动器，并对所述控制用静电致动器施加与由所述间隙检测部检测出的所述间隙尺寸相应的反馈电压，

所述多个静电致动器被配置成在以驱动中心轴为中心的一个同心圆上呈旋转对称。

2.根据权利要求1所述的致动器装置，其特征在于，

所述多个静电致动器利用电压的施加，使所述一对基板中的至少一个基板向另一个基板弯曲，从而使所述间隙尺寸发生变化，

所述驱动控制单元导出所述基板的弹簧常数以及构成所述多个静电致动器中的各静电致动器的电极间的初始间隙尺寸作为所述驱动参数，并基于所述弹簧常数以及所述初始间隙尺寸导出所述平行控制电压。

3.根据权利要求1所述的致动器装置，其特征在于，

所述间隙检测部检测驱动中心轴上的所述间隙尺寸。

4.根据权利要求1所述的致动器装置，其特征在于，

所述致动器装置具备：

设置于所述一对基板中的一个基板上的第一反射膜；以及

设置于所述一对基板中的另一个基板上并与所述第一反射膜相对的第二反射膜。

5.根据权利要求4所述的致动器装置，其特征在于，

所述第一反射膜以及所述第二反射膜设置于驱动中心轴上。

6.一种电子设备，其特征在于，具备：

权利要求1所述的致动器装置；以及

控制部，指示所述间隙尺寸的目标值，并控制所述致动器装置，

所述驱动控制单元基于所述电压、所述间隙尺寸、和所述目标值，导出用于驱动所述静电致动器的驱动参数。

7.一种致动器装置的控制方法，其特征在于，包括：

对多个静电致动器各自施加电压；

每对所述多个静电致动器各自施加所述电压，间隙检测部均检测一对基板间的间隙尺寸；以及

基于对所述多个静电致动器各自施加的所述电压、以及施加了所述电压时的所述间隙尺寸，导出用于驱动所述多个静电致动器中的各静电致动器的驱动参数，

导出用于将所述一对基板维持为平行的平行控制电压作为所述驱动参数，

所述致动器装置具备能够独立于所述静电致动器驱动的控制用静电致动器，

所述多个静电致动器各自为被施加偏压的偏压用静电致动器，

将所述平行控制电压作为所述偏压施加于所述偏压用静电致动器，并对所述控制用静电致动器施加与由所述间隙检测部检测出的所述间隙尺寸相应的反馈电压，

所述多个静电致动器被配置成在以驱动中心轴为中心的一个同心圆上呈旋转对称。