[发明专利]致动器装置、电子设备、以及控制方法

说明书

本发明提供能够以简单的构成高精度地实施使用静电致动器的间隙控制的致动器装置、电子设备、以及控制方法。光学模块(10)具备彼此相对的一对基板(51、52)、使一对基板(51、52)间的间隙尺寸变化的多个偏压致动器(57)、检测间隙尺寸的电容检测器(152)、以及基于电容检测器(152)所检测出的间隙尺寸控制偏压致动器(57)的驱动的电压控制部(15)，偏压致动器(57)相对于驱动中心轴呈非对称，并且能够分别独立地驱动，电压控制部(15)基于依次切换偏压致动器(57)而使其驱动时的电压和间隙尺寸，导出用于驱动偏压致动器(57)的驱动参数。

技术领域

本发明涉及致动器装置、电子设备、以及控制方法等。

背景技术

现有技术中，已知有具备彼此相对的一对基板、分别配置于各基板并彼此相对的反射膜、以及分别配置于各基板并彼此相对的电极(静电致动器)的波长可变干涉滤波器(例如，参照专利文献1)。

在专利文献1记载的法布里-珀罗滤波器中，于一对反射膜的周围分别配置能够独立驱动的四个静电致动器，并将这些静电致动器分别连接于检测部。然后，各静电致动器中的静电电容通过检测部检测，基于检测出的静电电容，由间隙控制部控制施加于各静电致动器的驱动电压。在这种构成中，能够基于各静电致动器中的间隙尺寸进行反馈控制，以维持反射膜彼此的平行性。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2003-215473号公报

发明内容

(发明要解决的技术问题)

但是，在上述专利文献1的装置中，各静电致动器的静电电容通过检测部检测。在这种构成中，存在需要在检测部中并入对应于各静电致动器各自的检测电路的问题。

本发明的目的在于，提供能够以简单的构成高精度地实施使用静电致动器的间隙控制的致动器装置、电子设备、以及控制方法。

(用于解决技术问题的方案)

本应用例的致动器装置，其特征在于，具备：彼此相对的一对基板；使所述一对基板间的间隙尺寸变化的多个静电致动器；检测所述间隙尺寸的间隙检测部；以及控制所述多个静电致动器各自的驱动的驱动控制单元，所述多个静电致动器分别能够独立地驱动，所述驱动控制单元基于对所述多个静电致动器各自施加的电压和由所述间隙检测部检测出的所述间隙尺寸，导出用于驱动所述多个静电致动器中的各静电致动器的驱动参数。

在本应用例中，依次驱动静电致动器中的每一个。当对一个静电致动器施加一定的电压时，在构成该静电致动器的电极间的间隙尺寸较大的情况下，与间隙尺寸较小的情况相比，静电引力小，由间隙检测部检测到的间隙尺寸的变动量小。因此，对各静电致动器依次施加一定的电压使其驱动，通过间隙检测部检测间隙尺寸来求出其变动量，从而能够从上述的间隙尺寸的变动量求出基板的倾斜状态、倾斜量。因此，根据这样的基板的倾斜状态、倾斜量，能够容易地算出用于将基板维持为期望的姿势(例如平行等)的各静电致动器的驱动参数。

并且，在本应用例中，由于使用一个间隙检测部求出间隙尺寸的变动量，例如与分别检测各静电致动器中的电极间的间隙尺寸的构成相比，能够实现构成的简化。

这里，一对基板间的间隙尺寸是指一对基板中的一个基板的表面与一对基板中的另一个基板的表面之间的尺寸、并且是指设置于一对基板各自上的反射膜等部件和部件之间的距离等。

在本应用例的致动器装置中，优选的是，所述驱动控制单元导出用于将所述一对基板维持为平行的平行控制电压作为所述驱动参数。

在本应用例中，驱动控制单元导出施加于各静电致动器各自上的平行控制电压(驱动电压)作为驱动参数。因此，通过将导出的各自的驱动电压施加于对应的静电致动器，能够将一对基板维持为平行。