[发明专利]涡轮分子泵有效
| 申请号： | 201510209327.4 | 申请日： | 2015-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN105275836B | 公开（公告）日： | 2018-04-13 |
| 发明（设计）人： | 筒井慎吾;坪川彻也 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F04D25/06 | 分类号： | F04D25/06 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司11019 | 代理人： | 寿宁,张华辉 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 涡轮 分子 | ||
1.一种涡轮分子泵，包括：
泵转子，具有动叶片及转子圆筒部；
静叶片，与所述动叶片相向；
圆筒状定子，与所述转子圆筒部相向；以及
基座，收容所述圆筒状定子；
所述涡轮分子泵的特征在于还包括：
加热部，对所述圆筒状定子进行加热；且
所述圆筒状定子的外表面的放射率、以及与所述圆筒状定子相向的构件的外表面且为与所述圆筒状定子相向的外表面的放射率小于所述动叶片的外表面且为与所述静叶片相向的外表面的放射率。
2.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其特征在于：
与所述圆筒状定子相向的构件为所述转子圆筒部、所述基座、所述动叶片、及所述静叶片中的至少一个。
3.根据权利要求1或2所述的涡轮分子泵，其特征在于：
利用所述加热部对所述圆筒状定子的加热，所述圆筒状定子的温度变得高于所述泵转子的温度。
4.根据权利要求1或2所述的涡轮分子泵，其特征在于：
所述圆筒状定子的外表面的放射率、以及与所述圆筒状定子相向的构件的外表面且为与所述圆筒状定子相向的外表面的放射率为0.3以下。
5.根据权利要求1或2所述的涡轮分子泵，其特征在于：
所述动叶片的外表面且为与所述静叶片相向的外表面的放射率、以及所述静叶片的外表面且为与所述动叶片相向的外表面的放射率为0.5以上。
6.根据权利要求1或2所述的涡轮分子泵，其特征在于：
所述圆筒状定子的外表面、以及与所述圆筒状定子相向的构件的外表面且为与所述转子圆筒部相向的外表面被施以镀镍，或者于铝合金未施以外表面处理。
7.根据权利要求1或2所述的涡轮分子泵，其特征在于：
所述动叶片的外表面且为与所述静叶片相向的外表面、以及所述静叶片的外表面且为与所述动叶片相向的外表面被施以镀黑色镍，或者被施以阳极氧化铝处理。
8.根据权利要求1或2所述的涡轮分子泵，其特征在于：
还包括热传导抑制构件，且
所述圆筒状定子隔着所述热传导抑制构件而安装于所述基座。
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