[发明专利]高硬度埃米功能防护薄膜层制程工艺

权利要求书

1. 一种高硬度埃米功能防护薄膜层制程工艺，其特征在于，包括以下步骤：

a. 原材料质量检验：对原材料的加工表面划痕、外观洁净度进行质量检查；

b. 真空设备抽真空处理：将符合规格要求的原材料安置在工装治具上，送入真空设备内进行抽真空后得到材料 A；

c. 电浆清洗处理：将材料A送入电浆离子源设备内，同时冲入第一工作气体，设定预设压力值进行清洗处理后得到材料B；

d. 电浆改质处理：在改质埃米材料区冲入第一工作气体，电子枪通过高电压电流，产生的电子束能量偏转至埃米材料，使得埃米材料由固态转变为气态分子状在材料B表面形成薄膜层，得到材料 C；

e．加硬埃米材料堆栈处理：在加硬功能埃米材料区冲入第二工作气体，电子枪产生的电子束能量偏转至加硬功能埃米材料区的埃米材料上，使得埃米材料由固态转变为气态分子状，埃米材料不断沉积到材料 C上，得到材料 D；

f. 功能埃米材料堆栈处理：在功能埃米材料区冲入第二工作气体，电子枪产生的电子束能量偏转至功能埃米材料区的埃米材料上，使得埃米材料由固态转变为气态分子状，埃米材料不断沉积到材料D上，得到材料 E；

g. 冷却破真空处理：材料 E冷却后，破真空取出；

h. 成品质量检验：检查材料 E合格后即得到成品。

2.根据权利要求1所述的高硬度埃米功能防护薄膜层制程工艺，其特征在于，所述第一工作气体为氩气。

3.根据权利要求1所述的高硬度埃米功能防护薄膜层制程工艺，其特征在于，所述第二工作气体为氩气、氧气或者氮气。

4.根据权利要求1所述的高硬度埃米功能防护薄膜层制程工艺，其特征在于，所述原材料为塑胶材料、玻璃或者陶瓷。

5.根据权利要求1所述的高硬度埃米功能防护薄膜层制程工艺，其特征在于，所述步骤d-f中的埃米材料为任意一种下列材料的埃米级材料：SiO₂、Ti₃O₅、Al₂O₃、ZrO₂、Nb₂O₅。