[发明专利]高硬度埃米功能防护薄膜层制程工艺在审
申请号: | 201510229011.1 | 申请日: | 2015-05-07 |
公开(公告)号: | CN104818456A | 公开(公告)日: | 2015-08-05 |
发明(设计)人: | 戴明光;曾德洪;陈浩 | 申请(专利权)人: | 苏州融睿纳米复材科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/30 | 分类号: | C23C14/30;B82Y30/00 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 范晴 |
地址: | 215153 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硬度 功能 防护 薄膜 层制程 工艺 | ||
技术领域
本发明属于真空薄膜加工领域,具体地涉及一种高硬度埃米功能防护薄膜层制程工艺。
背景技术
当前真空薄膜的玻璃或陶瓷在表面的各种硬度及功能,都采用“真空制程工艺方式”或是“真空加上表面 UV 涂层制程工艺方式”。该工艺生产成本较低,工艺属于新型或是与传统相互搭配。但是该工艺还存在一下缺点:
1 、喷漆 UV 涂层外观偏黄,变化颜色有些限制。
2 、工艺生产过程容易产生气泡、颗粒、毛屑等不良,制程不良率高。
3 、转换设备取放、搬运、储藏中,易造成毛屑粉尘的吸附不良。
4 、成品表面防污、防水等功能性较差。
5 、表面硬度级别,铅笔硬度一般介于 5~6H 之间,不能满足特殊客户要求。
6 、无法通过水煮测试,在 100 ℃ +/-2 ℃纯净水,水煮 10min 时有变色、起泡、腐蚀等异常现象。
7 、长期进行接触操作时,易发生涂层表面有轻微划痕、露底材、脱落、划伤现象等,不能满足特殊客户的需求。
发明内容
本发明目的是:提供一种高硬度埃米功能防护薄膜层制程工艺,可使得薄膜层的硬度具有达铅笔硬度 9H 以上,同时还可以具有过防污、防指纹、防水等功能。
本发明的技术方案是:
一种高硬度埃米功能防护薄膜层制程工艺,包括以下步骤:
a. 原材料质量检验:对原材料的加工表面划痕、外观洁净度进行质量检查;
b. 真空设备抽真空处理:将符合规格要求的原材料安置在工装治具上,送入真空设备内进行抽真空后得到材料 A ;
c. 电浆清洗处理:将材料 A 送入电浆离子源设备内,同时冲入第一工作气体,设定预设压力值进行清洗处理后得到材料 B ;
d. 电浆改质处理:在改质埃米材料区冲入第一工作气体,电子枪通过高电压电流,产生的电子束能量偏转至埃米材料,使得埃米材料由固态转变为气态分子状在材料 B 表面形成薄膜层,得到材料 C ;
e .加硬埃米材料堆栈处理:在加硬功能埃米材料区冲入第二工作气体,电子枪产生的电子束能量偏转至加硬功能埃米材料区的埃米材料上,使得埃米材料由固态转变为气态分子状,埃米材料不断沉积到材料 C 上,得到材料 D ;
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