[发明专利]高硬度埃米功能防护薄膜层制程工艺在审

专利信息
申请号: 201510229011.1 申请日: 2015-05-07
公开(公告)号: CN104818456A 公开(公告)日: 2015-08-05
发明(设计)人: 戴明光;曾德洪;陈浩 申请(专利权)人: 苏州融睿纳米复材科技有限公司
主分类号: C23C14/30 分类号: C23C14/30;B82Y30/00
代理公司: 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 代理人: 范晴
地址: 215153 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 硬度 功能 防护 薄膜 层制程 工艺
【说明书】:

技术领域

        发明属于真空薄膜加工领域,具体地涉及一种高硬度埃米功能防护薄膜层制程工艺。

背景技术

        当前真空薄膜的玻璃或陶瓷在表面的各种硬度及功能,都采用“真空制程工艺方式”或是“真空加上表面        UV        涂层制程工艺方式”。该工艺生产成本较低,工艺属于新型或是与传统相互搭配。但是该工艺还存在一下缺点:

        1        、喷漆        UV        涂层外观偏黄,变化颜色有些限制。

        2        、工艺生产过程容易产生气泡、颗粒、毛屑等不良,制程不良率高。

        3        、转换设备取放、搬运、储藏中,易造成毛屑粉尘的吸附不良。

        4        、成品表面防污、防水等功能性较差。

        5        、表面硬度级别,铅笔硬度一般介于        5~6H        之间,不能满足特殊客户要求。

        6        、无法通过水煮测试,在        100                +/-2        ℃纯净水,水煮        10min        时有变色、起泡、腐蚀等异常现象。

        7        、长期进行接触操作时,易发生涂层表面有轻微划痕、露底材、脱落、划伤现象等,不能满足特殊客户的需求。

发明内容

        本发明目的是:提供一种高硬度埃米功能防护薄膜层制程工艺,可使得薄膜层的硬度具有达铅笔硬度        9H        以上,同时还可以具有过防污、防指纹、防水等功能。

        本发明的技术方案是:

        一种高硬度埃米功能防护薄膜层制程工艺,包括以下步骤:

        a.         原材料质量检验:对原材料的加工表面划痕、外观洁净度进行质量检查;

        b.         真空设备抽真空处理:将符合规格要求的原材料安置在工装治具上,送入真空设备内进行抽真空后得到材料         A        

        c.         电浆清洗处理:将材料        A        送入电浆离子源设备内,同时冲入第一工作气体,设定预设压力值进行清洗处理后得到材料        B        

        d.         电浆改质处理:在改质埃米材料区冲入第一工作气体,电子枪通过高电压电流,产生的电子束能量偏转至埃米材料,使得埃米材料由固态转变为气态分子状在材料        B        表面形成薄膜层,得到材料         C        

        e        .加硬埃米材料堆栈处理:在加硬功能埃米材料区冲入第二工作气体,电子枪产生的电子束能量偏转至加硬功能埃米材料区的埃米材料上,使得埃米材料由固态转变为气态分子状,埃米材料不断沉积到材料         C        上,得到材料         D        

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