[发明专利]一种EUV反射镜清洗装置

权利要求书

1.一种EUV反射镜清洗装置，其包括H⁰原子发生装置（1）和真空腔室（2），其特征在于：在所述H⁰原子发生装置（1）和所述真空腔室（2）之间依次设置有相互连通的球阀（3）和导向喷射池（4）。

2.按照权利要求1所述EUV反射镜清洗装置，其特征在于，所述导向喷射池（4）包括：

导向管路（41），其包括连接端（411）和自由端（412），所述连接端（411）与所述球阀（3）连接，所述自由端（412）插设于所述真空腔室（2）内部；

连接套（42），其套装于所述导向管路（41）外部，且所述连接套（42）一端与所述导向管路（41）的连接端（411）固定连接，另一端与所述真空腔室（2）密封连接。

3.按照权利要求2所述EUV反射镜清洗装置，其特征在于：所述导向管路（41）的自由端（412）设置有沿其径向方向延伸的反射板（4121）。

4.按照权利要求2或3所述EUV反射镜清洗装置，其特征在于：所述导向管路（41）由所述连接端（411）向所述自由端（412）口径逐渐递减。

5.按照权利要求2或3所述EUV反射镜清洗装置，其特征在于：所述导向管路（41）和所述反射板（4121）均由石英制成。

6.按照权利要求1所述EUV反射镜清洗装置，其特征在于，所述球阀（3）包括：

阀体（31）；

球体（32），其转动设置于所述阀体（31）内部，且所述球体（32）上设置有贯通两侧的孔道（321）；

阀杆（33），其与所述球体（32）的上端连接，所述阀杆（33）可驱动所述球体（32）相对所述阀体（31）进行转动，使所述球体（32）上的孔道（321）与所述阀体（31）的两侧管路连通/封堵。

7.按照权利要求6所述EUV反射镜清洗装置，其特征在于：所述球阀（3）由石英制成。

8.按照权利要求6所述EUV反射镜清洗装置，其特征在于：所述球阀（3）通过石英连接管（5）与所述H⁰原子发生装置（1）连接，所述石英连接管（5）套装于所述H⁰原子发生装置（1）的发射管路上，且所述石英连接管（5）一端与所述球阀（3）的阀体（31）连接，另一端与所述H⁰原子发生装置（1）的壳体密封连接。

9.按照权要求1所述EUV反射镜清洗装置，其特征在于：所述H⁰原子发生装置（1）、球阀（3）、导向喷射池（4）和真空腔室（2）均同轴设置。