[发明专利]基板搬运装置及基板搬运系统在审
| 申请号： | 201510236609.3 | 申请日： | 2015-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN104909046A | 公开（公告）日： | 2015-09-16 |
| 发明（设计）人： | 李锋;王凯 | 申请（专利权）人： | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B65D61/00 | 分类号： | B65D61/00;B65D85/48;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 230011 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 搬运 装置 系统 | ||
1.一种基板搬运装置，包括并排设置在基板搬运装置的主体上的多个主臂，其特征在于：
每个所述主臂的两侧具有多个分支臂，所述多个主臂与所述多个分支臂位于同一支撑平面内。
2.如权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于，所述主臂两侧的分支臂相对于所述主臂轴对称设置。
3.如权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于，所述主臂的所述分支臂的长度等于该主臂上相邻两个分支臂的间距。
4.如权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于，相邻两个主臂的间距大于所述相邻两个主臂的内侧分支臂的长度之和。
5.如权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于，相邻两个主臂的内侧分支臂之间可容纳机台的支撑柱。
6.如权利要求1～5任一项所述的基板搬运装置，其特征在于，所述分支臂能够相对于所在的主臂旋转伸出和收回。
7.如权利要求6所述的基板搬运装置，其特征在于，所述分支臂能够旋转伸出至垂直于所述主臂。
8.如权利要求6所述的基板搬运装置，其特征在于，所述主臂两侧的分支臂旋转伸出时的旋转方向为逆时针方向或顺时针方向。
9.如权利要求6所述的基板搬运装置，其特征在于，所述主臂两侧的分支臂旋转收回时的旋转方向为逆时针方向或顺时针方向。
10.如权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于，所述主臂和分支臂为不锈钢材质且外部包裹有绝缘层。
11.如权利要求10所述的基板搬运装置，其特征在于，所述绝缘层包括绝缘树脂层。
12.一种基板搬运系统，其特征在于，包括如权利要求1～11任一项所述的基板搬运装置。
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