[发明专利]压印装置及物品制造方法

权利要求书

1.一种压印装置，其通过使涂布在基板上的树脂与模具接触来在所述基板上形成图案，所述压印装置包括：

基板保持部，其被构造成保持所述基板，

其中，所述基板保持部包括在预定方向上布置的多个保持区域，并且

其中，所述多个保持区域的形状被限定为能够以第一外径保持第一基板，并且能够以与所述第一外径不同的第二外径保持第二基板。

2.根据权利要求1所述的压印装置，其中，能够保持所述第一基板的第一保持区域被包括在与能够保持所述第二基板的第二保持区域相同的平面中。

3.根据权利要求2所述的压印装置，其中，所述多个保持区域还由在所述预定方向上布置的直线边界限定。

4.根据权利要求3所述的压印装置，

其中，能够保持所述第一基板的所述第一保持区域在所述预定方向的宽度尺寸根据在所述预定方向上的位置而不同，并且

其中，所述多个保持区域当中的、具有不同宽度尺寸的两个保持区域的面积比在0.8至1.2的范围内。

5.根据权利要求2所述的压印装置，

其中，能够保持所述第二基板的所述第二保持区域还由在所述预定方向上布置的直线边界限定，并且

其中，所述直线边界外接能够保持所述第一基板的所述第一保持区域。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的压印装置，其中，所述基板保持部使用负压来保持所述基板。

7.一种物品的制造方法，所述制造方法包括以下步骤：

使用根据权利要求1所述的压印装置在基板上形成图案，以及

对所述形成有图案的基板进行处理以制造所述物品。