[发明专利]流量传感器的检查方法和检查系统

权利要求书

1.一种流量传感器的检查方法，用于检查从检查对象的流量传感器输出的测定流量值的时间延迟，所述检查对象的流量传感器设置在具备上游侧流道和在所述上游侧流道的下游中分路的多个分路流道的流道结构中，所述流量传感器的检查方法的特征在于，

采用针对所述各分路流道分别设置的流阻、针对所述各分路流道分别设置的阀门，以及测定所述流道结构中的流体的压力或流量的流体传感器，

并具备阀门控制步骤，在根据所述流体传感器的输出来检查所述检查对象的流量传感器时，将所述各阀门设为多个敞开的状态。

2.一种流量传感器的检查系统，用于检查从检查对象的流量传感器输出的测定流量值的时间延迟，所述检查对象的流量传感器设置在具备上游侧流道和在所述上游侧流道的下游中分路的多个分路流道的流道结构中，所述流量传感器的检查系统的特征在于，包括：

针对所述各分路流道分别设置的流阻；

针对所述各分路流道分别设置的阀门；

测定所述流道结构中的流体的压力或流量的流体传感器；以及

阀门开闭控制部，在根据所述流体传感器的输出来检查所述检查对象的流量传感器时，将所述各阀门设为多个敞开的状态。

3.根据权利要求2所述的流量传感器的检查系统，其特征在于，

所述阀门开闭控制部至少对应作为流过所述流道结构的流体的流量的目标值的设定流量值，变更所述各阀门的开闭状态的组合。

4.根据权利要求2所述的流量传感器的检查系统，其特征在于，

所述阀门开闭控制部以设定流量值越小、所述流道结构中的流体的压力也越减小的方式，变更所述各阀门的开闭状态的组合。

5.根据权利要求2所述的流量传感器的检查系统，其特征在于，

还具备流量传感器调整部，其根据从所述检查对象的流量传感器输出的测定流量值的时间系列数据、和从所述流体传感器输出的压力或流量的测定值的时间系列数据，检查从检查对象的流量传感器输出的测定流量值的时间延迟。

6.根据权利要求5所述的流量传感器的检查系统，其特征在于，

所述检查对象的流量传感器具备：输出与流体的流量对应的电信号的感测机构；以及流量输出部，其根据从所述感测机构输出的电信号所示的值和规定的流量计算式输出测定流量值，

所述流量计算式具有从所述感测机构输出的电信号所示的值的微分值与作为针对所述微分值所乘的系数的微分系数的乘积的项，

所述流量传感器调整部变更所述微分系数，使得从所述检查对象的流量传感器输出的测定流量值的时间系列数据、与由所述流体传感器测定的测定值的时间系列数据之间的相位差成为零。

7.根据权利要求2所述的流量传感器的检查系统，其特征在于，

所述检查对象的流量传感器是热式的流量传感器，

所述流体传感器是压力式的流量传感器。