[发明专利]流量传感器的检查方法和检查系统

说明书

技术领域

本发明涉及用于检查通过流量传感器测定的流量值所含的、至少时间延迟的流量传感器的检查方法和检查系统。

背景技术

从流量传感器输出的测定流量值，有时会相对于实际流量值产生时间延迟。需要进行检测这种时间延迟的有无、或者按照消除时间延迟的方式调整流量传感器的流量传感器的检查作业(参照专利文献1(日本专利公开公报特开平9-16268号))。

关于流量传感器的时间延迟的检查具体如下进行。首先，将检查对象的流量传感器、作为基准的流量传感器、以及用于使流道内产生规定的压力的流阻设置在同一流道上来构成检查系统，使流过该流道的流体的流量产生变化。接着，把在流量发生变化时从检查对象的流量传感器输出的测定流量值的时间系列数据、与由作为基准的流量传感器测定的基准流量值的时间系列数据进行比较，检测有无相位差，或按照消除各时间系列数据的相位差的方式调整例如在所述检查对象的流量传感器上设定的微分系数等参数。

可是，在进行上述的这种检查时，为了不含与各流量传感器的输出无关的噪声等，要向流道内充以足够压力，在流道内的流体处于稳定的状态后开始检查。

可是，所述检查对象的流量传感器的测定范围设定在小流量区域时，能经由所述检查对象的流量传感器流入所述流道内的流体的流量，与流道的容积相比非常小。因此将流道内的压力充压到适于开始检查时间延迟的压力需要花费很多时间。

此外，使所述检查对象的流量传感器能稳定动作的流道的压力，因其测定范围而不同，但在目前的检查系统中不依据检查对象的流量传感器而不同，而是充压到大体相同压力后进行检查，因此难以对应所述检查对象的流量传感器进行最佳化。

发明内容

本发明鉴于上述问题，目的是提供一种能够对应检查对象的流量传感器而向流道内充以适当的压力、并且可以大幅缩短至检查开始的等待时间的流量传感器的检查方法、检查系统和存储了检查系统用程序的程序存储介质。

即，本发明的检查方法，用于检查从检查对象的流量传感器输出的测定流量值的时间延迟，所述检查对象的流量传感器设置在具备上游侧流道和在所述上游侧流道的下游中分路的多个分路流道的流道结构中，所述检查方法的特征在于，采用具备针对所述各分路流道分别设置的流阻、针对所述各分路流道分别设置的阀门以及测定所述流道结构中的流体的压力或流量的流体传感器的检查系统，并具备阀门控制步骤，在根据所述流体传感器的输出检查所述检查对象的流量传感器时，将所述各阀门设为多个敞开的状态。

此外，本发明的检查系统，用于检查从检查对象的流量传感器输出的测定流量值的时间延迟，所述检查对象的流量传感器设置在具备上游侧流道和在所述上游侧流道的下游中分路的多个分路流道的流道结构中，所述检查系统包括：针对所述各分路流道分别设置的流阻；针对所述各分路流道分别设置的阀门；测定所述流道结构中的流体的压力或流量的流体传感器；以及阀门开闭控制部，在根据所述流体传感器的输出检查所述检查对象的流量传感器时，将所述各阀门设为多个敞开的状态。

按照上述构成，由于所述各分路流道上分别设有流阻和阀门，所以在检查所述检查对象的流量传感器时通过将所述各阀门设为多个敞开的状态，即使所述流道结构中流过的流体的流量为少量，也可以在短时间内充压到适于开始检查的压力。

更具体而言，将在所述各分路流道上设置的各阀门敞开多个，减小针对所述上游侧流道的流道阻力时，可以使所述流道结构中的流体的状态在低压力下稳定。

因此，例如所述检查对象的流量传感器的测定范围为小流量区域，设定流量值小且流入所述上游侧流道的流量比流道的容积小时，所述阀门开闭控制部按照所述流道阻力减小的方式增加各阀门中敞开的阀门的数量，能够使流体在低压下稳定，从而缩短在所述流道结构中充压到能够开始检查时间延迟的压力的时间。

为了不论所述检查对象的流量传感器的测定范围如何都能在短时间内开始时间延迟的检查，所述阀门开闭控制部至少对应作为流过所述流道结构的流体的流量的目标值的设定流量值，变更所述各阀门的开闭状态的组合即可。

按照上述构成，所述阀门开闭控制部通过变更所述开闭状态的组合，可以自由变更针对所述上游侧流道的流道阻力的大小，使流体的状态稳定，并改变能够开始检查的压力。