[发明专利]提纯三氯氢硅的方法有效
| 申请号： | 201510247059.5 | 申请日： | 2015-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN104828827B | 公开（公告）日： | 2017-03-08 |
| 发明（设计）人： | 姚国华;张艳春;李锋;王洪光;白竟超;彭述才 | 申请（专利权）人： | 国电内蒙古晶阳能源有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)11201 | 代理人： | 李志东 |
| 地址： | 010321 内蒙古自治*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 提纯 三氯氢硅 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种提纯三氯氢硅的方法，其特征在于，包括：
将所述三氯氢硅进行冷却处理，以便得到冷却的三氯氢硅；
将所述冷却的三氯氢硅在吸附塔内进行吸附处理，以便吸附硼和磷并得到精制三氯氢硅，
其中，吸附塔内填充有弱碱性聚合树脂。
2.根据权利要求1所述提纯三氯氢硅的方法，其特征在于，所述三氯氢硅的纯度为99.99％。
3.根据权利要求1所述提纯三氯氢硅的方法，其特征在于，所述冷却的三氯氢硅温度为不大于30摄氏度。
4.根据权利要求1所述提纯三氯氢硅的方法，其特征在于，所述吸附处理的压力为0.25～0.4MPa，温度为不大于35摄氏度。
5.根据权利要求1所述提纯三氯氢硅的方法，其特征在于，所述吸附处理的流速为2.3～3.45吨每小时。
6.根据权利要求1所述提纯三氯氢硅的方法，其特征在于，所述弱碱性聚合树脂的粒径为0.6～0.8毫米，比表面积为33平方米每克。
7.根据权利要求1所述提纯三氯氢硅的方法，其特征在于，所述精制三氯氢硅中硼的质量含量不高于0.18ppb，磷的质量含量不高于0.36ppb。
8.根据权利要求1所述提纯三氯氢硅的方法，其特征在于，进一步包括：
将吸附所述硼和磷的弱碱性聚合树脂进行活化处理，以便得到活化后的弱碱性聚合树脂；
利用所述活化后的弱碱性聚合树脂进行所述吸附处理。
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