[发明专利]镀膜装置在审
| 申请号： | 201510250366.9 | 申请日： | 2015-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN104947049A | 公开（公告）日： | 2015-09-30 |
| 发明（设计）人： | 吴孝哲 | 申请（专利权）人： | 宁波时代全芯科技有限公司;英属维京群岛商时代全芯科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 315195 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 镀膜 装置 | ||
1.一种镀膜装置，其特征在于，用以在一基材上进行镀膜，该镀膜装置包含：
一镀膜腔室；
一载台，配置于该镀膜腔室内，该载台用以盛放该基材；
多个高频振动元件，配置于该载台内，其中所述高频振动元件的振动频率大于20千赫；以及
至少一控制单元，电性连接至少一个所述高频振动元件，该控制单元用以控制至少一个所述高频振动元件的振动频率、振动波形与振动大小。
2.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，各该高频振动元件为圆形。
3.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，各该高频振动元件为环形。
4.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，各该高频振动元件为扇形。
5.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述高频振动元件排列成一环形图案，且该环形图案面对该基材。
6.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述高频振动元件排列成一扇形图案，且该扇形图案面对该基材。
7.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，由垂直该载台的方向观之，所述高频振动元件均匀的分布于该载台内。
8.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，还包含：
一靶材设置台，配置于该镀膜腔室内且面对该载台，该靶材设置台用以盛放一靶材。
9.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，还包含：
一喷头，配置于该镀膜腔室内的一气体入口处，且该喷头具有多个喷口，所述喷口面对该载台，其中该气体入口处提供的制程气体经由所述喷口而朝向该载台移动。
10.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，还包含：
一静电吸盘，设置于该载台的表面，该静电吸盘用以固定该基材。
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