[发明专利]分析装置和校正方法

说明书

本发明提供分析装置和校正方法，在分析装置中使用反映了实际测量状况的恰当的校正用数据进行校正。所述分析装置(100)包括照射部(51)、捕集过滤器(1)、校正用基体材料(BS，SS)、检测部(53)以及成分分析部(95)。照射部(51)照射通过激发颗粒状物质(P)而产生荧光X射线的激发X射线(X1)。捕集过滤器(1)捕集颗粒状物质(P)。校正用基体材料(BS，SS)在执行校正时与捕集过滤器一起(1)配置在测量区域(A)。检测部(53)能检测来自测量区域(A)的X射线(X2)。此外检测部(53)在执行校正时检测校正X射线。成分分析部(95)在执行校正时使用校正X射线生成校正用数据。此外成分分析部(95)在执行成分分析时，根据校正用数据和检测部(53)检测的X射线(X2)的测量值进行成分分析。

技术领域

本发明涉及进行颗粒状物质分析的分析装置和进行所述分析装置的装置校正的校正方法。

背景技术

近年来，将掌握PM2.5的状况作为目的，开发了分析大气中的PM2.5的浓度和PM2.5所含的元素的装置。认为如果分析PM2.5所含的元素，则能够推断出所述PM2.5的发生源。

例如，专利文献1中公开了一种对构成大气中的漂浮颗粒状物质的元素种类进行连续且自动分析的测量装置。在该测量装置中，使用X射线分析仪，通过荧光元素分析进行漂浮颗粒状物质所含的元素的元素分析。

现有技术文献

专利文献1：日本专利公开公报特开2008-261712号

在所述的测量装置中，向处于被捕集到过滤器中的状态的颗粒状物质照射激发X射线。因此，来自颗粒状物质的荧光X射线受到过滤器的影响。此外，进行测量装置的校正时，在取下过滤器的状态下取得校正用数据。

可是，如果使用如上所述的未受到过滤器影响的校正用数据对使用来自被过滤器捕集到的物质的荧光X射线进行元素分析的装置进行校正，则不能准确地进行装置的校正。

发明内容

本发明的目的在于在使用荧光X射线进行成分分析的分析装置中，使用反映了实际测量状况的恰当的校正用数据进行校正。

以下，说明作为用于解决问题的方案的多个方式。根据必要可以任意组合所述的方式。

本发明的一个方式的分析装置，其根据从颗粒状物质产生的荧光X射线进行所述颗粒状物质的成分分析，所述分析装置的特征在于，所述分析装置包括：照射部，照射激发X射线，所述激发X射线激发所述颗粒状物质使所述颗粒状物质产生荧光X射线；捕集过滤器，用于捕集所述颗粒状物质；校正用基体材料，具有基体材料以及层叠于所述基体材料的校正用试样，在执行校正时与所述捕集过滤器一起配置在所述激发X射线照射的测量区域；检测部，能检测来自所述测量区域的X射线，执行所述校正时检测通过向所述捕集过滤器和所述校正用基体材料照射所述激发X射线而产生的校正X射线；以及成分分析部，执行所述校正时通过向所述校正用试样照射所述激发X射线而产生的基准荧光X射线作为所述校正X射线，生成针对各测量对象元素的量程校正用数据，执行所述成分分析时根据所述量程校正用数据和所述检测部检测的X射线的测量值进行所述成分分析。

由此，能够使用反映了实际测量状况的恰当的校正用数据进行分析装置的校正。

优选的是，所述捕集过滤器具有：捕集层，捕集所述颗粒状物质；以及加强层，加强所述捕集层。由此，即使将捕集过滤器减薄也能加大强度，能够确保用于以更高精度进行校正所必要的X射线强度。

优选的是，所述校正用基体材料具有基体材料以及层叠于所述基体材料的校正用试样，所述成分分析部将通过向所述校正用试样照射所述激发X射线而产生的基准荧光X射线作为所述校正X射线，生成针对各测量对象元素的量程校正用数据。由此，能够使用包含了捕集过滤器的影响的恰当的量程校正用数据，恰当地进行针对测量对象元素的量程校正。