[发明专利]硅片传输系统

权利要求书

1.一种硅片传输系统，其特征在于，包括：双臂机械手、上片直线手和下片直线手；其中，所述双臂机械手从硅片存储装置中将待曝光的硅片取出并移送到预对准装置上，并从缓存台将曝光完成的硅片取下放回硅片存储装置中；同时，上片直线手将预对准后的硅片移动至工件台，下片直线手将曝光完成后的硅片移动至缓存台。

2.如权利要求1所述的硅片传输系统，其特征在于，所述双臂机械手包括：机械手本体，与机械手本体活动连接的上片臂和下片臂。

3.如权利要求1所述的硅片传输系统，其特征在于，所述上片直线手和所述下片直线手均包括：片叉、直线电机和滑块，其中，所述片叉通过滑块与所述直线电机的活动端连接。

4.如权利要求3所述的硅片传输系统，其特征在于，所述直线电机包括直线电机定子、滑轨和直线电机动子，所述直线电机动子为所述直线电机的活动端，所述滑轨设置在所述直线电机定子上，所述直线电机动子通过所述滑块带动片叉沿所述滑轨运动。

5.如权利要求4所述的硅片传输系统，其特征在于，所述片叉包括：与所述滑块固接的片臂，与所述片臂固接的连接件，固定在所述连接件上且对称设置的承片面。

6.如权利要求5所述的硅片传输系统，其特征在于，所述承片面上还设置有橡胶吸盘。

7.如权利要求6所述的硅片传输系统，其特征在于，所述橡胶吸盘包括：刚性吸附部、围绕所述刚性吸附部设置的喇叭状橡胶盘和设置在所述刚性吸附部底部的密封片，所述刚性吸附部内部设置有真空气道。

8.如权利要求1所述的硅片传输系统，其特征在于，所述机械手采用双臂圆柱坐标机械手。