[发明专利]硅片传输系统

说明书

技术领域

本发明涉及光刻机领域，特别涉及一种硅片传输系统。

背景技术

微电子技术的发展促进了计算机技术、通信技术和其它电子信息技术的更新换代，在信息产业革命中起着重要的先导和基础作用，光刻机是微电子器件制造业中不可或缺的工具。

为了降低芯片制造成本，使用者对光刻机的产率要求越来越高。光刻机生产商在市场与利益驱动下，也不断进行光刻机的产率提升。同时，为了能够迎合市场多变的需求，需要能够兼容多种硅片尺寸。

光刻机产率提升的重要技术点是硅片传输系统的产率提升。在工件台载着硅片曝光完，需要一张新的硅片情况下，硅片传输必须保证已经提前做好了与工件台进行交接硅片的准备工作。所以，硅片传输的产率要大于光刻机自身的产率。

提升硅片传输的产率一般有两种途径，一是不断提高传输机械手的运动性能，即其速度、加速度、稳定时间等，二是优化硅片传输的系统配置，即通过预对准、机械手等设备布局。但是，目前的设备生产商仅通过提升机械手的运动性能来提高光刻机产率。

发明内容

本发明提供一种硅片传输系统，以解决现有光刻机中硅片传输速率较慢的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种硅片传输系统，包括：双臂机械手、上片直线手和下片直线手；其中，所述双臂机械手从硅片存储装置中将待曝光的硅片取出并移送到预对准装置上，并从缓存台将曝光完成的硅片取下放回硅片存储装置中；上片直线手用于将预对准后的硅片移动至工件台，下片直线手将曝光完成后的硅片移动至缓存台。

作为优选，所述双臂机械手包括：机械手本体，与机械手本体活动连接的上片臂和下片臂。

作为优选，所述上片直线和手下片直线手均包括：片叉、直线电机和滑块，其中，所述片叉通过滑块与所述直线电机的活动端连接。

作为优选，所述直线电机包括直线电机定子、滑轨和直线电机动子，所述滑轨设置在所述直线电机定子上，所述直线电机动子通过所述滑块带动片叉沿所述滑轨运动。

作为优选，所述片叉包括：与滑块固接的片臂，与所述片臂固接的连接件，固定在所述连接件上且对称设置的承片面。

作为优选，所述承片面上还设置有橡胶吸盘。

作为优选，所述橡胶吸盘包括：刚性吸附部、围绕所述刚性吸附部设置的喇叭状橡胶盘和设置在所述刚性吸附部底部的密封片，所述刚性吸附部内部设置有真空气道。

作为优选，所述机械手采用双臂圆柱坐标机械手。

与现有技术相比，本发明具有以下优点：

1、双臂机械手不需要与工件台交接，减轻了双臂机械手的压力；

2、上、下片直线手的片叉无垂向运动轴，实现与工件台、预对准、机械手的交接；

3、利用上、下片直线手，分别负责从工件台上片与下片，提高交接时间；

4、通过上、下片直线手片叉的设计，能够兼容处理2、3、4、5、6、8英寸硅片、键合片、翘曲片；

5、所述双臂机械手、上片直线手和下片直线手可以并行动作，达到节省硅片传输时间的目的。。

附图说明

图1为本发明一具体实施方式中硅片传输系统的结构示意图；

图2为本发明一具体实施方式中硅片传输系统中双臂机械手的结构示意图；

图3为本发明一具体实施方式中硅片传输系统中上/下片直线手的结构示意图；

图4为本发明一具体实施方式中硅片传输系统中片叉的结构示意图；

图5为本发明一具体实施方式中硅片传输系统中片叉的应用示意图；

图6为本发明一具体实施方式中硅片传输系统中橡胶吸盘的立体结构示意图；

图7为本发明一具体实施方式中硅片传输系统中橡胶吸盘的结构示意图；

图8为本发明一具体实施方式中硅片传输系统的初始状态示意图；

图9-11为本发明一具体实施方式中硅片传输系统中不同流程下硅片交接示意图；

图12-14为本发明一具体实施方式中硅片传输系统中工件台中P-PIN位于不同位置时示意图。

图中所示：100-双臂机械手、101-机械手本体、102-上片臂、103-下片臂；

200-上片直线手、300-下片直线手；

301-片叉、3011-承片面、3012-连接件、3013-片臂、3014a-刚性吸附部、3014b-橡胶盘、3014c-密封片、3014d-真空气道；

302-直线电机定子、303-直线电机动子、304-滑块、305-滑轨；