[发明专利]探针针痕位置的检测系统及方法

权利要求书

1.一种探针针痕位置的检测方法，通过将探针扎到晶圆的接触片上以对晶圆进行检测，其特征在于，包括以下步骤：

步骤01：获取探针扎到所述接触片上时所对应的标准针痕图像；

步骤02：经过对所述标准针痕图像进行分析，获得所述标准针痕范围；其中，定义标准针痕范围的形状与接触片的形状相同；

步骤03：根据所述标准针痕范围，设定坐标原点，并确定所述标准针痕在所述接触片上的最大范围坐标；其中，所述接触片为多边形，所述最大范围为所述接触片的轮廓范围；所述最大范围坐标为所述多边形的各个角顶点所对应的坐标；

步骤04：进行晶圆测试前的扎针过程，并采集实际针痕图像；

步骤05：根据实际针痕图像得到所述扎针过程中的实际针痕位置数据，以判断所述实际针痕的位置是否位于所述最大范围坐标所形成的范围之内；

步骤06：当判断结果为是时，则开始对所述晶圆进行测试。

2.根据权利要求1所述的探针针痕位置的检测方法，其特征在于，所述步骤01中，所述标准针痕图像包括采用各个测试机台扎针时所对应的标准针痕图像。

3.根据权利要求1所述的探针针痕位置的检测方法，其特征在于，所述步骤02中，对所述标准针痕图像进行分析包括：对所述标准针痕图像的颜色进行处理，所述标准针痕图像中的针痕颜色记为0，所述标准针痕图像中的接触片的颜色记为1。

4.根据权利要求1所述的探针针痕位置的检测方法，其特征在于，所述多边形的左下角顶点为坐标原点。

5.根据权利要求1所述的探针针痕位置的检测方法，其特征在于，所述步骤05中，所述实际针痕位置数据为所述实际针痕图像中实际针痕范围坐标。

6.根据权利要求5所述的探针针痕位置的检测方法，其特征在于，所述步骤05中，当所述实际针痕范围坐标在所述最大范围坐标所形成的范围之内时，所述实际针痕的位置在所述最大范围坐标所形成的范围之内。

7.一种探针针痕位置的检测系统，包括用于对晶圆进行测试的测试模块，其特征在于，包括：

图像获取模块，获取探针扎到接触片上时所对应的标准针痕图像；或者采集实际针痕图像；

坐标设定模块，对所述标准针痕图像进行分析，获得所述标准针痕范围；并根据所述标准针痕范围，设定坐标原点，并确定所述标准针痕在所述接触片上的最大范围坐标；其中，定义标准针痕范围的形状与接触片的形状相同；所述接触片为多边形，所述最大范围为所述接触片的轮廓范围；所述最大范围坐标为所述多边形的各个角顶点所对应的坐标；

判断模块，根据实际针痕图像得到所述扎针过程中的实际针痕位置数据，来判断所述实际针痕的位置是否位于所述最大范围坐标所形成的范围之内；当判断结果为是时，则发出开始对所述晶圆进行测试的信号给测试模块。

8.根据权利要求7所述的探针针痕位置的检测系统警报模块，其特征在于，还包括警报模块，当判断结果为否时，判断模块向警报模块发出触发信号，然后警报模块发出警报信号。