[发明专利]基板检查装置以及基板检查方法

权利要求书

1.一种基板检查装置，检查相互分开配置的3个以上的布线图案的相互间的绝缘，所述基板检查装置具备：

低电压检查部，其执行低电压绝缘检查，在该低电压绝缘检查中，将所述3个以上的布线图案当中彼此相邻的2个布线图案作为一个布线图案对，使多个布线图案对的布线图案间分别产生电位差，基于在所述各布线图案对的布线图案间流过的电流来分别判定所述各布线图案对的布线图案间的绝缘良好与否；

电阻测定部，其执行电阻测定处理，该电阻测定处理测定在所述低电压绝缘检查中判定为所述绝缘不良的布线图案对的布线图案间的电阻值；和

高电压检查部，其执行高电压绝缘检查，在该高电压绝缘检查中，在包含所述电阻测定处理中测定出的电阻值低于预先设定的基准值的布线图案对中的一个布线图案的其它布线图案对的布线图案间、且在所述低电压绝缘检查中判定为所述绝缘良好的布线图案对的布线图案间，产生大于该低电压绝缘检查中的所述电位差的电位差，基于在该布线图案对的布线图案间流过的电流来判定该布线图案对的布线图案间的绝缘良好与否。

2.根据权利要求1所述的基板检查装置，其中，

所述高电压检查部对包含所述电阻测定处理中测定出的电阻值超过所述基准值的布线图案对中的一个布线图案的其它布线图案对的布线图案禁止所述高电压绝缘检查的执行。

3.根据权利要求1或2所述的基板检查装置，其中，

所述高电压检查部对在所述低电压绝缘检查中判定为所述绝缘不良的布线图案对的布线图案间禁止所述高电压绝缘检查的执行。

4.根据权利要求1或2所述的基板检查装置，其中，

所述基板检查装置还对应于所述各布线图案具备多组分别与所述布线图案的两处接触的第1探头以及第2探头，

所述电阻测定部在所述电阻测定处理中，检测在与成为测定对象的所述布线图案对中的一个布线图案的一端对应的第1探头和与另一个布线图案的一端对应的第1探头之间的所述测定对象的布线图案对的布线图案间流过的电流，检测在与该一个布线图案的另一端对应的第2探头和与另一个布线图案的另一端对应的第2探头之间的所述测定对象的布线图案对的布线图案间的电压，基于该检测出的所述电流和所述电压来算出所述测定对象的布线图案对的布线图案间的电阻值。

5.根据权利要求1或2所述的基板检查装置，其中，

所述低电压绝缘检查中的所述电位差设为如下电压：在出现了线状延伸的导体跨架在所述相邻的2个布线图案间地形成的不良部、或微粒子状的多个导体粒子分布在所述2个布线图案间的不良部的情况下，不使这些不良部烧坏的电压。

6.根据权利要求5所述的基板检查装置，其中，

所述低电压绝缘检查中的所述电位差是使0.1mA～2mA的给定的电流流过所述不良部而产生的电压、和0.2V～20V的给定的电压当中较低的电压。

7.根据权利要求1或2所述的基板检查装置，其中，

所述高电压绝缘检查中的所述电位差设为如下电压：在出现了使所述布线图案对的布线图案间的间隔变窄的不良部的情况下使所述布线图案对的布线图案间产生电火花的电压。

8.根据权利要求7所述的基板检查装置，其中，

所述高电压绝缘检查中的所述电位差设为如下电压：使超过2mA的给定的电流流过所述不良部而产生的电压、和超过20V的给定的电压当中较低的电压。

9.根据权利要求1或2所述的基板检查装置，其中，

所述基准值是为了判别线状延伸的导体跨架在所述相邻的2个布线图案间地形成的不良部、和微粒子状的多个导体粒子分布在所述2个布线图案间的不良部而设定的电阻值。

10.根据权利要求9所述的基板检查装置，其中，

所述基准值为25Ω。