[发明专利]基板检查装置以及基板检查方法

说明书

本发明提供能提升绝缘检查的检查精度的基板检查装置及基板检查方法。基板检查装置具备：低电压检查部(12)，其执行使布线图案对间产生电位差，基于在布线图案对间流过的电流来判定布线图案对间的绝缘良好与否的低电压绝缘检查；电阻测定部(13)，其执行电阻测定处理，测定在低电压绝缘检查中判定为绝缘不良的对的布线间的电阻值；和高电压检查部(14)，其执行使作为包含电阻测定处理中测定出的电阻值低于预先设定的基准值的对的一方的布线的其它对的布线且在低电压绝缘检查中判定为绝缘良好的对的布线间，产生大于该低电压绝缘检查中的电位差的电位差，基于在该对的布线间流过的电流来判定该对的布线间的绝缘良好与否的高电压绝缘检查。

技术领域

本发明涉及用于进行基板的检查的基板检查装置以及基板检查方法。

背景技术

在基板形成多个布线图案的情况下，进行绝缘检查(漏电检查)，检查各布线图案是否正确地绝缘。对检查对象的布线图案间施加电压，检测在该布线图案间是否流过电流，由此来进行绝缘检查。但是，若在布线图案间出现绝缘不良的情况下对该布线图案间施加绝缘检查用的电压，则电流流过绝缘不良部位而发热，有可能会烧坏绝缘不良部位。

于是已知如下技术(例如参考专利文献1)：首先对布线图案间施加不会使绝缘不良部位烧坏的低电压，仅对未流过电流的布线间以高电压施加绝缘检查，判断为在高电压的绝缘检查下未流过电流的布线间没有绝缘不良(绝缘为良好)。

专利文献

专利文献1：JP特开平6-230058号公报

但是，本发明的发明者们新发现，对布线图案间施加低电压并仅对未流过电流的布线间以高电压施加绝缘检查，将在高电压的绝缘检查下未流过电流的布线间判定为绝缘良好，在这样的检查方法中，有可能会误将绝缘不良部位判断为绝缘良好(放过绝缘不良)。

发明内容

本发明提供能提升绝缘检查的检查精度的基板检查装置以及基板检查方法。

本发明所涉及的基板检查装置检查相互分开配置的3个以上的布线图案的相互间的绝缘，所述基板检查装置具备：低电压检查部，其执行低电压绝缘检查，在该低电压绝缘检查中，将所述3个以上的布线图案当中彼此相邻的2个布线图案作为一对，使多对布线图案间分别产生电位差，基于在所述各对的布线图案间流过的电流来分别判定所述各对的布线图案间的绝缘良好与否；电阻测定部，其执行电阻测定处理，该电阻测定处理测定在所述低电压绝缘检查中判定为绝缘不良的对的布线图案间的电阻值；和高电压检查部，其执行高电压绝缘检查，在该高电压绝缘检查中，在包含所述电阻测定处理中测定出的电阻值低于预先设定的基准值的对的一方的布线图案的其它对的布线图案间、且在所述低电压绝缘检查中判定为绝缘良好的对的布线图案间，产生大于该低电压绝缘检查中的所述电位差的电位差，基于在该对的布线图案间流过的电流来判定该对的布线图案间的绝缘良好与否。

另外，本发明所涉及的基板检查方法检查相互分开配置的3个以上的布线图案的相互间的绝缘，所述基板检查方法包含：低电压检查工序，执行低电压绝缘检查，在该低电压绝缘检查中，将所述3个以上的布线图案当中彼此相邻的2个布线图案作为一对，使多对布线图案间分别产生电位差，基于在所述各对的布线图案间流过的电流来分别判定所述各对的布线图案间的绝缘良好与否；电阻测定工序，执行电阻测定处理，该电阻测定处理测定在所述低电压绝缘检查中判定为绝缘不良的对的布线图案间的电阻值；和高电压检查工序，执行高电压绝缘检查，在该高电压绝缘检查中，在包含所述电阻测定处理中测定出的电阻值低于预先设定的基准值的对的一方的布线图案的其它对的布线图案间、且在所述低电压绝缘检查中判定为绝缘良好的对的布线图案间，产生大于该低电压绝缘检查中的所述电位差的电位差，基于在该对的布线图案间流过的电流来判定该对的布线图案间的绝缘良好与否。