[发明专利]压印装置、压印方法及物品的制造方法

权利要求书

1.一种压印装置，其通过使用模具来使供给到基板的拍摄区域上的压印材料的图案成型，所述压印装置包括：

检测单元，其被构造为检测对所述拍摄区域设置的多个基板侧标志的各个的位置以及对所述模具设置的多个模具侧标志的各个的位置；以及

控制单元，其被构造为：

基于与所述拍摄区域的变形有关的信息，来预测形成到所述拍摄区域的所述多个基板侧标志的各个的位置；

使得所述检测单元检测所述多个基板侧标志的各个的位置；

在所述多个基板侧标志当中，指定检测位置与预测位置之差未落入预先设置的容许范围内的基板侧标志；以及

基于与所指定的基板侧标志不同的基板侧标志的所述检测位置，来进行所述模具与所述拍摄区域之间的对准。

2.根据权利要求1所述的压印装置，其中，所述控制单元基于对所述拍摄区域设置的所述多个基板侧标志当中的、除了所指定的基板侧标志以外的基板侧标志的检测结果，来进行所述对准。

3.根据权利要求1所述的压印装置，其中，

所述基板具有包括第一拍摄区域和第二拍摄区域的多个拍摄区域，所述第一拍摄区域具有所指定的基板侧标志，所述第二拍摄区域在所述第一拍摄区域之前经历了压印处理，并且

所述控制单元通过使用对所述第二拍摄区域设置的、并且被布置在与所指定的基板侧标志在所述第一拍摄区域中的位置相同的位置处的基板侧标志的检测结果、代替针对所指定的基板侧标志的检测结果，来进行所述第一拍摄区域中的所述对准。

4.根据权利要求1所述的压印装置，其中，所述控制单元通过使用针对如下的基板侧标志的检测结果，代替针对所指定的基板侧标志的检测结果，来进行具有所指定的基板侧标志的拍摄区域中的所述对准，所述基板侧标志是对之前经历了压印处理的基板设置的、并且被布置在与所指定的基板侧标志在所述基板上的位置相同的位置处。

5.根据权利要求1所述的压印装置，其中，

在指定所述差未落入所述容许范围内的所述基板侧标志的情况下，所述控制单元根据从多个模式中选择的模式，对具有所指定的基板侧标志的拍摄区域进行所述对准，并且

所述多个模式包括第一模式和第二模式中的至少一者，在所述第一模式中，基于针对除了所指定的基板侧标志以外的基板侧标志的检测结果来控制所述对准，在所述第二模式中，通过使用对之前经历了压印处理的基板设置的基板侧标志的检测结果、代替针对所指定的基板侧标志的检测结果来控制所述对准。

6.根据权利要求1所述的压印装置，其中，所述信息包括与当在所述基板上形成基板侧标志时要产生的所述拍摄区域的变形量、在所述基板的温度改变时所述拍摄区域的变形量、以及由于保持所述基板而导致的所述拍摄区域的变形量中的至少一者有关的信息。

7.根据权利要求1所述的压印装置，其中，所述控制单元获得关于对所述拍摄区域设置的各个基板侧标志的位置的预测值。

8.根据权利要求7所述的压印装置，其中，所述控制单元对多个基板使用共同的预测值。

9.一种物品的制造方法，该制造方法包括以下步骤：

使用压印装置在基板上形成压印材料的图案；

处理形成有所述压印材料的所述图案的所述基板以制造所述物品；

其中，所述压印装置通过使用模具来使供给到所述基板的拍摄区域上的所述压印材料的所述图案成型，所述压印装置包括：

检测单元，其被构造为检测对所述拍摄区域设置的多个基板侧标志的各个的位置以及对所述模具设置的多个模具侧标志的各个的位置；以及

控制单元，其被构造为：

基于与所述拍摄区域的变形有关的信息，来预测形成到所述拍摄区域的所述多个基板侧标志的各个的位置；

使得所述检测单元检测所述多个基板侧标志的各个的位置；

在所述多个基板侧标志当中，指定检测位置与预测位置之差未落入预先设置的容许范围内的基板侧标志；以及

基于与所指定的基板侧标志不同的基板侧标志的检测位置，来进行所述模具与所述拍摄区域之间的对准。

10.一种压印方法，其通过使用模具来使供给到基板的拍摄区域上的压印材料的图案成型，该压印方法包括以下步骤：

检测对所述拍摄区域设置的多个基板侧标志的各个的位置以及对所述模具设置的多个模具侧标志的各个的位置；以及

基于与所述拍摄区域的变形有关的信息，获得对所述拍摄区域形成的所述多个基板侧标志的各个的预测位置；

在所述多个基板侧标志当中，指定检测位置与预测位置之差未落入预先设置的容许范围内的基板侧标志；以及

基于与所指定的基板侧标志不同的基板侧标志的所述检测位置，来控制所述模具与所述拍摄区域之间的对准。