[发明专利]一种全自动蚀刻液回收装置在审
| 申请号： | 201510294829.1 | 申请日： | 2015-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN104846377A | 公开（公告）日： | 2015-08-19 |
| 发明（设计）人： | 韦建敏;赵兴文;张晓蓓;张小波 | 申请（专利权）人： | 成都虹华环保科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/46 | 分类号： | C23F1/46;C23F1/08 |
| 代理公司： | 成都金英专利代理事务所(普通合伙) 51218 | 代理人： | 袁英 |
| 地址： | 610000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 全自动 蚀刻 回收 装置 | ||
1.一种全自动蚀刻液回收装置，其特征在于：它包括蚀刻机柜（1）、传送装置（3）、接液盘（4）、接液管（5）和回收池（6），所述的传送装置（3）横向穿过蚀刻机柜（1），传送装置（3）的上方设置有蚀刻液喷淋头（2），所述的接液盘（4）固定安装在传送装置（3）的下方，接液管（5）的一端与接液盘（4）的底部相连，接液管（5）的另一端并联连接有第一支管（7）和第二支管（10），第一支管（7）的另一端和第二支管（10）的另一端分别与回收池（6）连通，第一支管（7）的管路上设置有第一阀门（9）和第一过滤器（8），第二支管（8）的管路上设置有第二阀门（12）和第二过滤器（11）。
2.根据权利要求1所述的一种全自动蚀刻液回收装置，其特征在于：所述的蚀刻液喷淋头（2）为多个，且多个蚀刻液喷淋头（2）沿着传送装置（3）的传送方向间隔均匀地设置在蚀刻机柜（1）上。
3.根据权利要求1所述的一种全自动蚀刻液回收装置，其特征在于：所述的接液盘（4）的截面呈波浪形结构，接液盘（4）上还设置有汇集槽（13），汇集槽（13）沿接液盘（4）的波谷设置，汇集槽（13）与接液管（5）连通。
4.根据权利要求1所述的一种全自动蚀刻液回收装置，其特征在于：所述的第一阀门（9）和第二阀门（12）均为电磁阀。
5.根据权利要求1所述的一种全自动蚀刻液回收装置，其特征在于：所述的第一过滤器（8）与回收池（6）之间、第二过滤器（11）与回收池（6）之间的管路上分别设置有流量计。
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