[发明专利]一种全自动蚀刻液回收装置

说明书

技术领域

本发明涉及蚀刻装置，特别是一种全自动蚀刻液回收装置。

背景技术

蚀刻机可以分为化学蚀刻机及电解蚀刻机两类。在化学蚀刻中是使用化学溶液，经由化学反应以达到蚀刻的目的，化学蚀刻机是将材料用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。如今市场上所见到的自动型化学蚀刻机是通过高压喷淋及被蚀刻板直线运动形成连续不间断进料状态进行对工件腐蚀以提高生产效率，加大了喷淋与被蚀刻金属板的有效面积和蚀刻均匀程度，无论在蚀刻效果、速度和改善操作者的环境及方便程度，都优于泼溅式蚀刻；经反复实验喷射压力在1-2 Kg/cm²的情况下被蚀刻工件上所残留的蚀刻圬渍能被有效清处掉，使蚀刻速度在传统蚀刻法上大大提高。但是蚀刻液在喷淋在产品后，还有大量未反应的蚀刻液，现有的蚀刻液回收装置将蚀刻液进行回收，但回收率低，而且蚀刻液中含有杂质，无法全部回收。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种自动化程度高、回收率高和可不间断地连续回收的全自动蚀刻液回收装置。

本发明的目的通过以下技术方案来实现：一种全自动蚀刻液回收装置，它包括蚀刻机柜、传送装置、接液盘、接液管和回收池，所述的传送装置横向穿过蚀刻机柜，传送装置的上方设置有蚀刻液喷淋头，所述的接液盘固定安装在传送装置的下方，接液管的一端与接液盘的底部相连，接液管的另一端并联连接有第一支管和第二支管，第一支管的另一端和第二支管的另一端分别与回收池连通，第一支管的管路上设置有第一阀门和第一过滤器，第二支管的管路上设置有第二阀门和第二过滤器。

所述的蚀刻液喷淋头为多个，且多个蚀刻液喷淋头沿着传送装置的传送方向间隔均匀地设置在蚀刻机柜上。

所述的接液盘的截面呈波浪形结构，接液盘上还设置有汇集槽，汇集槽沿接液盘的波谷设置，汇集槽与接液管连通。

所述的第一阀门和第二阀门均为电磁阀。

所述的第一过滤器与回收池之间、第二过滤器与回收池之间的管路上分别设置有流量计。

本发明具有以下优点：

1、本发明的蚀刻液在经喷淋头喷射在产品上后，在自身重力作用下，掉入接液盘中，进行残余蚀刻液回收，在回收过程中经过过滤器对带有杂质的蚀刻液进行过滤，整个过程均可自动进行，自动化程度高。

2、蚀刻液在喷射在产品上后完全进入接液盘，接液盘的截面为波浪形结构，并且在波谷处设置汇集槽，汇集槽与接液管连通，有利于残余蚀刻液进入接液管，回收效率大幅度提高。

3、在接液管与回收池之间分别设置有并联的支路，每个支路上设置有电磁阀、过滤器和流量计，通过其中一支路的流量计向对应的电磁阀进行反馈，若流量低于额定值，则关闭该路电磁阀，同时开启另一路电磁阀，对流量低于额定值一路的过滤器进行清洗，同时另一路对蚀刻液进行回收，可实现不间断地连续回收。

附图说明

图1 为本发明的结构示意图；

图2 为接液盘的俯视结构示意图；

图3 为图2中A-A剖视结构示意图；

图中：1-蚀刻机柜，2-蚀刻液喷淋头，3-传送装置，4-接液盘，5-接液管，6-回收池，7-第一支管，8-第一过滤器，9-第一阀门，10-第二支管，11-第二过滤器，12-第二阀门，13-汇集槽。

具体实施方式

下面结合附图对本发明做进一步的描述，但本发明的保护范围不局限于以下所述。

如图1所示，一种全自动蚀刻液回收装置，它包括蚀刻机柜1、传送装置3、接液盘4、接液管5和回收池6，所述的传送装置3横向穿过蚀刻机柜1，传送装置3的上方设置有蚀刻液喷淋头2，所述的接液盘4固定安装在传送装置3的下方，接液管5的一端与接液盘4的底部相连，接液管5的另一端并联连接有第一支管7和第二支管10，第一支管7的另一端和第二支管10的另一端分别与回收池6连通，第一支管7的管路上设置有第一阀门9和第一过滤器8，第二支管8的管路上设置有第二阀门12和第二过滤器11。

进一步地，所述的蚀刻液喷淋头2为多个，且多个蚀刻液喷淋头2沿着传送装置3的传送方向间隔均匀地设置在蚀刻机柜1上，对产品进行均匀地喷淋，提高产品蚀刻质量。

进一步地，如图2和图3所示，所述的接液盘4的截面呈波浪形结构，接液盘4上还设置有汇集槽13，汇集槽13沿接液盘4的波谷设置，汇集槽13与接液管5连通。

所述的第一阀门9和第二阀门12均为电磁阀。