[发明专利]移动元件仅受静电力驱动的静电平行板致动器以及相结合使用的方法

权利要求书

1.一种静电平行板致动器设备，包括：

致动器阵列，所述致动器阵列包括多个双侧致动器元件(110)，所述多个双侧致动器元件(110)以行和列的形式进行安排，所述双侧致动器元件包括：

移动元件(120)，所述移动元件(120)借助于支承件(150)机械地连接到致动器元件的固定部分，所述支承件(150)界定轴线(125)，所述移动元件(120)能够沿着所述轴线(125)行进，所述支承件(150)防止所述移动元件(120)在其他方向行进并且界定所述移动元件(120)的静止位置；

一对电极(130、140)，所述一对电极(130、140)被安置在所述移动元件(120)的相对侧，使得在所述移动元件和任何一个电极之间施加电压能够产生驱动所述移动元件朝向对应的电极的静电力；

电连接，所述电连接在所述双侧致动器元件之间，使得：

所述移动元件(120)沿着所述阵列的行或列中的一者被电连接；

第一组电极(130)沿着所述阵列的行或列中的另一者的第一组(410)被电连接；以及

第二组电极(140)沿着所述阵列的行或列中的另一者的第二组(420)被电连接；

控制器(50)，其操作以接收数字输入信号，并且在操作上连接于所述致动器阵列，使得电压能够被施加在任何所选择的行和列之间，从而能够控制所述致动器阵列内的所述致动器元件，以用于产生声音，所述声音的至少一个属性对应于根据取样时钟周期性地取样的所述数字输入信号的至少一个特性。

2.根据权利要求1所述的设备，其中，所述致动器阵列还包括至少一个致动器元件驱动电路。

3.根据权利要求1所述的设备，其中，所述致动器阵列是无源阵列，所述无源阵列不包括致动器元件驱动电路。

4.根据以上权利要求中的任一项所述的设备，其中，所述致动器元件还包括在面向所述移动元件的电极的表面上形成的凸痕或在所述移动元件上形成的凸痕。

5.根据权利要求1-3中的任一项所述的设备，其中，所述控制器操作以确定作为第i行中的第j个元件的第i,j个移动元件的运动是强制性的，以便通过改变第j列和所述第i行之间的电压差来产生所述声音并且引起所述第i,j个移动元件的运动。

6.根据权利要求5所述的设备，其中，所述电压差通过使用所述第j列和所述第i行之间的电压源改变。

7.根据权利要求5所述的设备，其中，所述电压差通过短路所述第j列和所述第i行改变。

8.根据权利要求6和7中的任一项所述的设备，还包括位置传感器，所述位置传感器感测沿着所述轴线运动的所述第i,j个移动元件的位置，其中，所述控制器操作以基于所述位置传感器提供的信息检测所述移动元件中的缺陷，所述位置传感器包括电容传感器。

9.根据权利要求6和7中的任一项所述的设备，其中，所述电压被施加预定的时间段，在该预定的时间段后，所述第i行和所述第j列中的至少一者从电压源断开。

10.根据权利要求9所述的设备，其中，所述时间段在所述第i,j个移动元件仍然在运动时终止。

11.根据权利要求8所述的设备，其中，如果所述位置传感器检测到所述移动元件具有异常运动模式，则所述控制器将所述移动元件标记为故障并且不再使用所述移动元件。