[发明专利]移动元件仅受静电力驱动的静电平行板致动器以及相结合使用的方法

说明书

本发明涉及移动元件仅受静电力驱动的静电平行板致动器以及相结合使用的方法，该致动器包括：至少一个致动器装置，每一个致动器装置包括：一个移动元件阵列，其中每一单独的移动元件操作而受约束以响应于作用其上的一个单独的第一静电力而沿着一条对应轴线来回交替地行进，其中每一个移动元件具有一个静止位置并且仅被该第一静电力驱动远离其静止位置；以及至少一个电极，该至少一个电极操作以对来自该移动元件阵列当中的至少一个单独的移动元件施加一个受控的电位差时间序列，从而可选择地产生该第一静电力；以及一个控制器，该控制器操作以接收该数字输入信号，并且控制该至少一个电极和该单独的移动元件中的至少一者以施加该电位差序列。

本申请是申请日为2011年03月10日，申请号为201180021974.2，发明名称为“移动元件仅受静电力驱动的静电平行板致动器以及相结合使用的方法”的申请的分案申请。

对共同未决申请案的参考

无优先权主张。共同未决申请案包括如下：

技术领域

本发明总体上涉及致动器，并且更具体来说涉及扬声器。

背景技术

很多种致动器以及扬声器是已知的。本申请人的共同未决申请案描述了现有技术水平的致动器(例如扬声器)，其中一些共同未决申请案如以上说明已经公开。

本文使用的术语“支承件”旨在包括允许零件之间的受约束的相对运动(例如弯曲运动)的任何装置，例如将一个移动元件连接到固定元件上并且界定该移动元件的运动路径和静止位置的装置。“挠曲支承件”或者“挠曲”是允许弯曲运动的支承件。挠曲支承件可以包括一个将两个其他零件接合的柔性零件，并且典型地是简单、便宜、紧凑并且低摩擦的。挠曲支承件典型地由一种可以重复地挠曲而不会分散的材料形成。弹簧旨在包含任何合适的弹性部件，例如但不限于，在压缩、弯曲或拉伸之后恢复其形状的螺旋成卷带材或线。一个致动器元件阵列中的第(i，j)个致动器元件的寻址涉及在该致动器元件阵列的一个具体行与一个具体列之间施加电压。

如果一个阵列的元件包含元件驱动电路，则本文将该阵列称为“有源”阵列，并且如果一个阵列的元件不包含元件驱动电路，则本文将该阵列称为“无源”阵列。

在本说明书中一般等效地使用术语‘搁置位置’、‘静止位置’以及‘静止中位置’。在本说明书中一般等效地使用术语‘致动器装置’以及‘致动装置’。

在以下的马尔科姆·霍克斯福德(Malcolm Hawksford)的公开案中描述了有用于此的现有技术水平扬声器阵列和控制算法：

A.“数字微阵列扬声器中的失真和频谱成形量化噪声的空间分布(SpatialDistribution Of Distortion And Spectrally Shaped Quantization Noise InDigital Micro-Array Loudspeakers)”，音频工程设计界期刊，第55卷，第1/2号，2007年1月/2月；以及

B.“智能数字扬声器阵列(Smart Digital Loudspeaker Arrays)”，音频工程设计界期刊，第51卷，第12号，2003年12月。

将了解，当在说明书或附图中使用术语“顶部”和“底部”时只是为了方便指示由移动元件阵列界定的一个表面的任一侧上的位置，该表面例如为连接这些移动元件的轨迹的中点的表面。在许多应用中，重力是可以忽略的力，使得“顶部”位置可以同样地安置于“底部”位置的下方或者左边或右边。

可以根据以上术语在现有技术文献中出现的任何定义或者根据规范或者如上所述来解释这些术语。

ANSYS公司的MEMS术语词汇表陈述了凸痕是“一个小的特征或凸块，典型地是MEMS装置的表面上的一个凸起方块。凸痕可以用作例如机械止挡件，用来控制高纵横比装置中的下触。”