[发明专利]检查设备、检查方法和程序

权利要求书

1.一种检查设备，包括：

照明部，其用于根据光度立体方法来对检查对象进行照明；

成像部，其用于接收来自被照明的检查对象的反射光，以根据所述光度立体方法生成亮度图像；

计算部，其用于根据由所述成像部获取的多幅亮度图像来计算所述检查对象的表面的法向向量，生成由基于根据所述多幅亮度图像算出的法向向量的像素值构成的倾斜图像和所述倾斜图像的至少一幅缩小图像，并且执行对所述倾斜图像和所述至少一幅缩小图像之中的至少两个图像进行合成的合成处理，以生成展示所述检查对象的表面形状的检查图像；

确定部，其用于通过使用所述检查图像来确定所述检查对象有无缺陷；以及

设置部，其用于设置特征尺寸，所述特征尺寸是用于在执行所述合成处理时向所述缩小图像的分量赋予权重的参数，

其中，所述计算部根据由所述设置部设置的所述特征尺寸来生成不同的检查图像。

2.根据权利要求1所述的检查设备，其中，所述计算部使用不同的缩小率来生成多幅缩小图像。

3.根据权利要求1所述的检查设备，其中，当所述设置部改变所述特征尺寸时，所述计算部针对所获取的倾斜图像改变所述特征尺寸而不由所述成像部进行重新成像，以更新所述检查图像。

4.根据权利要求1所述的检查设备，其中，所述设置部按对应于检查应用的逐步方式设置不同的特征尺寸。

5.根据权利要求1所述的检查设备，其中，

所述设置部设置具有各自不同的值的多个特征尺寸，并且

所述计算部针对由所述设置部设置的所述多个特征尺寸中的每一个来生成所述检查图像。

6.根据权利要求1所述的检查设备，还包括：

瑕疵检查部，其用于对通过使用各自不同的特征尺寸而生成的多幅检查图像执行瑕疵检查，

其中，所述确定部通过使用所述瑕疵检查部的检查结果来确定所述检查对象有无缺陷。

7.根据权利要求1所述的检查设备，还包括：

字符识别部，其用于对通过使用各自不同的特征尺寸而生成的多幅检查图像执行字符识别处理，

其中，所述确定部通过使用所述字符识别部的字符识别的结果来确定所述检查对象有无缺陷。

8.根据权利要求1所述的检查设备，其中，

所述计算部根据所述成像部获取的多幅亮度图像来计算所述检查对象的表面的反射率以及所述检查对象的表面的法向向量，以生成像素值是所述反射率的反射率图像，并且

所述确定部通过使用所述反射率图像来确定所述检查对象有无缺陷。

9.根据权利要求1所述的检查设备，其中，

所述计算部根据所述成像部获取的多幅亮度图像来生成由基于所述检查对象的表面的法向向量的像素值构成的倾斜图像，并且

所述确定部通过使用所述倾斜图像来确定所述检查对象有无缺陷。

10.根据权利要求1所述的检查设备，还包括：

存储部，其用于存储所述检查图像，

其中，所述确定部从所述存储部中读取所述检查图像并执行检查，以基于所述检查的结果来确定所述检查对象有无缺陷。

11.根据权利要求10所述的检查设备，其中，所述存储部存储通过应用具有各自不同的值的特征尺寸而生成的多幅检查图像。

12.根据权利要求1所述的检查设备，还包括：

选择部，其用于在多幅检查图像之中选择一幅检查图像；以及

检查工具设置部，其用于为所述选择部选择的检查图像设置检查工具。

13.根据权利要求1所述的检查设备，还包括：

图像选择部，其用于在所述成像部获取的多幅亮度图像和所述检查图像之中选择要保存或要输出的图像。