[发明专利]检查设备、检查方法和程序

说明书

本发明提供了检查设备、检查方法和程序。光度处理部基于光度立体方法、根据由相机获取的多幅亮度图像来计算工件表面的法向向量，并且执行对倾斜图像和所述倾斜图像的至少一个缩小图像之中的至少两个图像进行合成的合成处理，以生成展示检查对象的表面形状的检查图像，该倾斜图像是由基于根据多幅亮度图像算出的法向向量的像素值构成的。具体地，特征尺寸设置部设置特征尺寸，该特征尺寸是用于在执行合成处理时向缩小图像的分量赋予权重的参数。光度处理部能够根据所设置的特征尺寸来生成不同的检查图像。

技术领域

本发明涉及检查设备、检查方法和程序。

背景技术

为了通过使用光度立体原理来测量工件(检查对象产品)的精确三维形状，需要照明光以均匀的光量入射到工件的每个表面上的照明光源。另外，需要知道照明光的入射角。此外，由于不应该根据工件的区域来改变光的入射角，因此需要尺寸与要检查的工件的尺寸相对应的照明光源。此外，还需要相机采集的图像的比例信息(每个像素的实际尺寸)。视觉检查设备通常由用户安装，并且用户难以满足这些严格的安装条件。因此，根据JP 2007-206797 A，提出了一种通过将照明与相机集成而形成的专用设备，从而减轻了用户的安装负担。

根据在JP 2007-206797 A中描述的发明中，由于将照明与相机集成，因此具有减轻用户的安装负担的优点。然而，使用光度立体原理的视觉检查设备在市场上尚未普及。对此有多种原因。根据JP 2007-206797 A，将通过使用光度立体原理而获得的法向向量图像(每个像素展示工件的表面的法向向量的图像)或反射率图像(每个像素展示工件的表面的反射率的图像)应用于图像检查。相应地，在JP 2007-206797 A的发明中，限制了适用的应用。例如，反射率图像用于检查在其表面上具有亮度饱和的多个闪光部分的工件等，但反射率图像不适合于检查工件的表面上的细微的不均匀瑕疵或者对篆刻字符的OCR(光学字符识别)。同时，在对诸如工件表面上的细微的不均匀瑕疵的检查或者对篆刻字符的OCR的检查应用中，并不需要严格的安装条件。

然而，在这样的检查应用中，需要用户在根据法向向量图像或反射率图像生成用于检查的图像时调整几个图像处理参数。因此，对于该调整操作而言，还期望减轻用户的负担。

发明内容

因此，本发明的目的在于在根据通过使用光度立体原理而获取的图像生成检查图像时便于设置参数。

根据本发明，例如，提供了一种检查设备，该检查设备包括：照明部，其用于根据光度立体方法来对检查对象进行照明；成像部，其用于接收来自被照明的检查对象的反射光，以根据光度立体方法生成亮度图像；计算部，其用于根据由成像部获取的多幅亮度图像来计算检查对象的表面的法向向量，并且通过使用相对于倾斜图像与关注像素相邻的像素的法向向量和倾斜图像的缩小图像来进行关注像素的像素值的累积计算以生成具有该像素值的检查图像，该倾斜图像由基于根据多幅亮度图像计算的法向向量的像素值构成；以及确定部，其用于通过使用检查图像来确定检查对象有无缺陷，该检查设备还包括用于设置特征尺寸的设置部，该特征尺寸是用于向在累积计算中使用的缩小图像的分量赋予权重的参数。

根据本发明，通过引入特征尺寸的概念，能够在根据通过使用光度立体原理而获取的图像来生成检查图像时容易地设置参数。

附图说明

图1是示出检查设备的轮廓的视图；

图2是用于描述光度立体原理的视图；

图3是用于描述累积计算的图；

图4是示出用于基于特征尺寸确定权重的方法的图；

图5是示出具有不同特征尺寸的检查图像的一个示例的视图；

图6是描述与形状图像的生成相关的图像的视图；

图7是描述用于生成文本图像的方法的视图；