[发明专利]浸泡式玻璃基板蚀刻机

权利要求书

1.一种浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，包括一槽体(10)、位于所述槽体(10)底部的底部鼓泡板(20)、置于所述槽体(10)内并位于所述底部鼓泡板(20)上的内框(30)、及位于内框(30)内的数层间隔设置的内框鼓泡板(40)；

所述底部鼓泡板(20)与内框鼓泡板(40)分别包括数条鼓泡管道，所述鼓泡管道具有多个鼓泡孔；

使用时，每一玻璃基板均位于每层内框鼓泡板(40)的两条相邻鼓泡管道之间。

2.如权利要求1所述的浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，所述内框(30)的相对两侧壁上分别沿竖直方向间隔设置有数个横向固定条(31)，所述相对两侧壁上的数个横向固定条(31)分别相对设置。

3.如权利要求2所述的浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，所述横向固定条(31)朝向内框(30)内部的侧面上沿所述横向固定条(31)的延伸方向设有数个间隔设置的第一凹槽(311)，所述第一凹槽(311)用于固定待蚀刻的玻璃基板。

4.如权利要求3所述的浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，所述横向固定条(31)的上端面上沿所述横向固定条(31)的延伸方向设有数个间隔设置的第二凹槽(312)，所述第二凹槽(312)用于固定所述内框鼓泡板(40)。

5.如权利要求4所述的浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，所述内框鼓泡板(40)的数条鼓泡管道分别卡设于所述横向固定条(31)上的数个第二凹槽(312)中，从而使所述内框鼓泡板(40)固定在所述横向固定条(31)上。

6.如权利要求2所述的浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，所述横向固定条(31)与所述内框(30)之间为固定连接，所述内框鼓泡板(40)与所述横向固定条(31)之间为固定连接。

7.如权利要求4所述的浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，所述第一凹槽(311)与所述第二凹槽(312)在所述横向固定条(31)上交错设置。

8.如权利要求1所述的浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，所述鼓泡管道上的鼓泡孔的气孔开口向下。

9.如权利要求1所述的浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，所述多个鼓泡孔沿鼓泡管道均匀分布，且每一鼓泡孔均为圆形鼓泡孔。

10.如权利要求2所述的浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，所述内框鼓泡板(40)还包括与所述内框鼓泡板(40)的数条鼓泡管道相连接的外管路支架(50)，所述内框(30)侧壁外相对于所述横向固定条(31)的位置设置有外延承载结构(32)，所述外延承载结构(32)用于承载所述外管路支架(50)。