[发明专利]切断装置以及切断方法

权利要求书

1.一种切断装置，具备：工作台，载置有被切断物，所述被切断物具有由多个切断线包围的多个区域；切断单元，切断所述被切断物；移动机构，使所述工作台与所述切断单元相对地移动；以及切削水供给机构，对所述切断单元与所述被切断物相接触的被加工点供给切削水，该切断装置在使所述被切断物单片化来制造与所述各个区域相对应的产品时被使用，其特征在于，具备：

控制部，对用于切断被切断物的切断条件进行控制，

所述切断线包含相正交的沿着第一方向的切断线和沿着第二方向的切断线，

所述被切断物是四边形的封装基板，

所述工作台吸附所述被切断物，

所述控制部至少具有第一切断条件和第二切断条件来作为所述切断条件，所述第一切断条件用于通过沿着所述第一方向的所述切断线切断所述被切断物来生成包括多个所述区域的中间体，所述第二切断条件用于通过沿着所述第二方向的所述切断线切断所述中间体来单片化为所述产品，

所述第二切断条件中的所述切削水的流量少于所述第一切断条件中的所述切削水的流量，

所述第二切断条件中的所述工作台与所述切断单元之间的相对的移动速度小于所述第一切断条件中的所述相对的移动速度。

2.根据权利要求1所述的切断装置，其特征在于，

至少所述切削水的流量通过流量调整单元被控制。

3.根据权利要求1所述的切断装置，其特征在于，

至少所述切削水的流量通过切换单元被控制。

4.根据权利要求1所述的切断装置，其特征在于，

具备：测定部，对加工水的流量进行测定，所述加工水至少含有所述切削水并被使用于所述被切断物的切断，

基于由所述测定部测定出的测定值，对所述第一切断条件和所述第二切断条件中的所述加工水的流量进行控制。

5.根据权利要求1所述的切断装置，其特征在于，

具备：冷却水供给机构，从所述切断单元的两侧朝向所述切断单元的下方供给冷却水，

所述第二切断条件中的所述冷却水的流量少于所述第一切断条件中的所述冷却水的流量。

6.一种切断方法，包括：将具有由相正交的沿着第一方向的切断线和沿着第二方向的切断线包围的多个区域的被切断物载置到工作台的工序；使所述工作台与切断单元相对地移动的工序；通过使所述工作台与所述切断单元相对地移动，从而使用所述切断单元对所述被切断物进行切断的工序；以及使用切削水供给机构对所述切断单元与所述被切断物相接触的被加工点供给切削水的工序，其特征在于，进一步包括：

对用于切断所述被切断物的切断条件进行控制的工序，

所述进行切断的工序至少具有第一工序和第二工序，所述第一工序用于通过沿着所述第一方向的所述切断线切断所述被切断物来生成包括多个所述区域的中间体，所述第二工序用于通过沿着所述第二方向的所述切断线切断所述中间体来单片化为产品，

所述被切断物是四边形的封装基板，

所述工作台吸附所述被切断物，

在所述进行控制的工序中，对所述切削水供给机构进行控制，以使所述第二工序中的所述切削水的流量少于所述第一工序中的所述切削水的流量，

在使所述工作台和所述切断单元相对地移动的工序中，使得所述第二工序中的所述工作台与所述切断单元之间的相对的移动速度小于所述第一工序中的所述相对的移动速度。

7.根据权利要求6所述的切断方法，其特征在于，

在所述进行控制的工序中，使用流量调整单元，至少对所述切削水的流量进行控制。

8.根据权利要求6所述的切断方法，其特征在于，

在所述进行控制的工序中，使用切换单元，至少对所述切削水的流量进行控制。

9.根据权利要求6所述的切断方法，其特征在于，

包括：对加工水的流量进行测定的工序，所述加工水至少含有所述切削水并被使用于所述被切断物的切断，

在所述进行控制的工序中，基于在所述进行测定的工序中测定出的测定值，对所述第一工序和所述第二工序中的所述加工水的流量进行控制。

10.根据权利要求6所述的切断方法，其特征在于，

包括：使用冷却水供给机构朝向所述切断单元的下方供给冷却水的工序，

在所述进行控制的工序中，对所述冷却水供给机构进行控制，以使所述第二工序中的所述冷却水的流量少于所述第一工序中的所述冷却水的流量。