[发明专利]一种真空蒸镀设备有效
| 申请号： | 201510325726.7 | 申请日： | 2015-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN104846339B | 公开（公告）日： | 2017-03-15 |
| 发明（设计）人： | 王熙元;卜斌;姚固 | 申请（专利权）人： | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 230011 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 设备 | ||
1.一种真空蒸镀设备，其特征在于，包括：
壳体，所述壳体形成主真空腔和侧真空腔，所述侧真空腔内设有用于检测待测量坩埚的断层检测模块、取放主真空腔内坩埚的机械手；
设置于所述主真空腔和侧真空腔之间的开关组件，所述开关组件打开时连通所述主真空腔和侧真空腔、关闭时隔离所述主真空腔和侧真空腔。
2.根据权利要求1所述的真空蒸镀设备，其特征在于，所述开关组件为插板真空阀。
3.根据权利要求1所述的真空蒸镀设备，其特征在于，所述断层检测模块包括：
采集坩埚微裂纹信息的扫描单元；
与所述扫描单元信号连接、根据所述扫描单元扫描到的信息判断坩埚中是否存在微裂纹的处理单元。
4.根据权利要求3所述的真空蒸镀设备，其特征在于，所述扫描单元为X射线扫描装置。
5.根据权利要求3所述的真空蒸镀设备，其特征在于，所述处理单元用于将接收到的所述扫描单元采集的信息转换为图像信息。
6.根据权利要求3所述的真空蒸镀设备，其特征在于，还包括与所述处理单元信号连接以对所述图像信息进行显示的显示单元。
7.根据权利要求1所述的真空蒸镀设备，其特征在于，所述侧真空腔内设有导轨，所述机械手安装于所述导轨。
8.根据权利要求7所述的真空蒸镀设备，其特征在于，所述机械手包括滑块、设置于所述滑块上的伸缩臂、安装于所述伸缩臂末端的坩埚衔取装置，其中，所述滑块与所述导轨滑动配合。
9.根据权利要求1所述的真空蒸镀设备，其特征在于，还包括位于所述侧真空腔内的坩埚架。
10.根据权利要求1所述的真空蒸镀设备，其特征在于，所述侧真空腔与主真空腔并联分布。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司，未经合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201510325726.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种采煤机用滑靴的激光热处理工艺
- 下一篇：蒸发源装置及蒸镀装置
- 同类专利
- 专利分类
