[发明专利]柔性基板及其制作方法、显示装置

权利要求书

1.一种柔性基板的制作方法，其特征在于，包括：

S1、在刚性基板上设置可拆卸层，将柔性衬底通过所述可拆卸层固定在刚性基板上，其中，所述可拆卸层包括网状层和设置在所述网状层的网孔中的多个相互独立的支撑部，且所述网状层与所述支撑部相互独立；

S2、在所述柔性衬底上形成功能层，以获得柔性基板；

S3、通过外力作用于所述网状层，使所述柔性基板与所述刚性基板分离；

所述步骤S1包括：

S11、在刚性基板上形成具有网状层的第一光刻胶层；

S12、对所述第一光刻胶层进行曝光、显影，形成多个支撑部，所述支撑部位于所述网状层的网孔中；

S13、将所述柔性衬底与多个所述支撑部相粘结。

2.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，

所述步骤S3包括：

S31、对所述刚性基板进行切割，以暴露所述网状层的边缘；

S32、通过外力作用于所述网状层，以使得所述柔性基板与所述刚性基板分离。

3.根据权利要求2所述的制作方法，其特征在于，所述步骤S11包括：

在所述刚性基板上形成第一光刻胶层，并对所述第一光刻胶层进行预固化；

将所述网状层压印在预固化后的第一光刻胶层中，并进行后烘，形成内部设置有网状层的第一光刻胶层。

4.根据权利要求3所述的制作方法，其特征在于，对所述第一光刻胶层进行预固化的温度为30-50℃，持续时间为10-15min，进行后烘的温度为80-90℃，持续时间不低于20min。

5.根据权利要求2所述的制作方法，其特征在于，所述步骤S13包括：

在所述柔性衬底的朝向所述刚性基板的一侧形成第二光刻胶层，并对所述第二光刻胶层进行预固化；

使所述柔性衬底上形成有所述第二光刻胶层的一侧与所述刚性基板上形成有所述支撑部的一侧相贴合，并进行后烘，使所述第二光刻胶层与多个所述支撑部相粘结。

6.根据权利要求5所述的制作方法，其特征在于，对所述第二光刻胶层进行预固化的温度为30-50℃，持续时间为10-15min，进行后烘的温度为80-90℃，持续时间不低于30min。

7.根据权利要求2至6中任意一项所述的制作方法，其特征在于，所述步骤S32包括：

对所述刚性基板加热，使所述柔性基板与所述支撑部相粘结部位的胶体软化，同时提拉所述网状层的边缘，以使得所述柔性基板与所述刚性基板分离。

8.根据权利要求2至6中任意一项所述的制作方法，其特征在于，所述刚性基板由能够发生弹性形变的材料制成，所述步骤S32包括：

在所述刚性基板背离所述柔性基板的一侧形成低温收缩材料层或高温收缩材料层；

降低环境温度，使所述低温收缩材料层发生收缩形变，或者，升高环境温度，使所述高温收缩材料层发生收缩形变，同时拉伸所述网状层，其中，所述外力为所述低温收缩材料层或所述高温收缩材料层发生收缩形变时产生的力。

9.根据权利要求2至6中任意一项所述的制作方法，其特征在于，所述刚性基板由热塑性材料制成，所述步骤S32包括：

对所述刚性基板进行加热，使所述刚性基板发生弯曲形变，同时拉伸所述网状层，其中，所述外力为所述刚性基板发生弯曲形变时产生的力。

10.根据权利要求2至6中任意一项所述的制作方法，其特征在于，所述网状层的厚度小于所述第一光刻胶层的厚度。

11.根据权利要求1至6中任意一项所述的制作方法，其特征在于，所述刚性基板上待固定所述柔性衬底的一侧设置有第一对位标记，所述第一对位标记能够与所述柔性衬底上的第二对位标记相匹配，以使得所述柔性衬底与所述刚性基板准确对位。