[发明专利]一种镭射板检测设备在审
申请号: | 201510334170.8 | 申请日: | 2015-06-16 |
公开(公告)号: | CN104934341A | 公开(公告)日: | 2015-09-23 |
发明(设计)人: | 卢兴中 | 申请(专利权)人: | 卢兴中 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L21/677 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 201100 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 镭射 检测 设备 | ||
1.一种镭射板检测设备,包括设备壳体,其特征在于,所述设备壳体外部设有电脑屏幕以及人机操作装置,所述设备壳体内部设有产品上料升降机构、传输带、产品下料升降机构,所述产品上料升降机构通过所述传输带连接所述产品下料升降机构,所述传输带用于传输待检测的镭射板,且所述传输带的上方设有镭射板检测装置,所述设备壳体的下方设有工控机以及控制柜。
2.如权利要求1所述的镭射板检测设备,其特征在于,所述镭射板检测装置包括工业相机以及LED光源,所述工业相机设于所述LED光源的上方。
3.如权利要求2所述的镭射板检测设备,其特征在于,所述工业相机为线阵CCD相机。
4.如权利要求1所述的镭射板检测设备,其特征在于,所述传输带上设有用于固定所述镭射板的定位装置。
5.如权利要求1所述的镭射板检测设备,其特征在于,所述设备壳体内还设有与电脑屏幕连接的键盘。
6.如权利要求1所述的镭射板检测设备,其特征在于,所述人机操作装置包括显示屏以及操作按钮。
7.如权利要求1所述的镭射板检测设备,其特征在于,所述产品上料升降机构以及产品下料升降机构相对应的设备壳体上设有柜门。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造