[发明专利]物理量传感器装置、高度计、电子设备以及移动体在审
| 申请号： | 201510335211.5 | 申请日： | 2015-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN105300411A | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 中岛敏 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01D3/028 | 分类号： | G01D3/028 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 苏萌萌;许梅钰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 物理量 传感器 装置 高度计 电子设备 以及 移动 | ||
【权利要求书】：
1.一种物理量传感器装置，其特征在于，具有：
物理量传感器，其具备隔膜，所述隔膜具有受压面，并能够挠曲变形；
温度传感器元件，其以与所述隔膜隔开间隔的方式而被配置于所述隔膜的所述受压面侧。
2.如权利要求1所述的物理量传感器装置，其中，
在俯视观察所述受压面时，所述温度传感器元件与所述隔膜的至少一部分重叠。
3.如权利要求1所述的物理量传感器装置，其中，
所述物理量传感器在所述隔膜的与所述受压面相反的面侧具有压力基准室。
4.如权利要求1所述的物理量传感器装置，其中，
所述物理量传感器具有信号输出部，该信号输出部输出与所述隔膜的挠曲相对应的信号。
5.如权利要求4所述的物理量传感器装置，其中，
所述信号输出部具有被配置于所述隔膜上的压电电阻元件。
6.如权利要求1所述的物理量传感器装置，其中，
具有被配置于所述隔膜与所述温度传感器元件之间的树脂。
7.如权利要求6所述的物理量传感器装置，其中，
所述树脂为胶状或液状。
8.一种高度计，其特征在于，
具备权利要求1所述的物理量传感器装置。
9.一种电子设备，其特征在于，
具备权利要求1所述的物理量传感器装置。
10.一种移动体，其特征在于，
具备权利要求1所述的物理量传感器装置。
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