[发明专利]物理量传感器装置、高度计、电子设备以及移动体

说明书

技术领域

本发明涉及一种物理量传感器装置、高度计、电子设备以及移动体。

背景技术

例如，专利文献1中记载的压力传感器模块具有：压力传感器装置，其具有隔膜部，且根据该隔膜部的挠曲而对压力进行检测；温度补偿装置，其具有温度测量部(温度传感器部)，压力传感器部以及温度测量部通过导热线而被热连接。因此，根据由温度测量部测量出的压力传感器部的温度，能够实现检测压力的温度补偿。

但是，由于在以上述方式构成的压力传感器模块中，压力传感器装置与温度补偿装置被横向并排配置，因此压力传感器装置(尤其隔膜部)与温度测量部之间的间隔距离变长。因此，在温度测量部中无法准确地实施压力传感器装置(尤其隔膜部)的温度测量，因此，无法进行精度较高的温度补偿。

专利文献1：日本特开2013-164332号公报

发明内容

本发明的目的在于，提供一种能够实施优异的温度补偿的物理量传感器装置、高度计、电子设备以及移动体。

本发明是为解决上述课题中的至少一部分而完成的，能够作为以下的应用例而实现。

应用例1

本应用例的物理量传感器装置具有：物理量传感器，其具备隔膜，所述隔膜具有受压面，并能够挠曲变形；温度传感器元件，其以与所述隔膜隔开间隔的方式而被配置于所述隔膜的所述受压面侧。

由此可获得能够进行优异的温度补偿的物理量传感器装置。

应用例2

在本应用例的物理量传感器装置中，优选为，在俯视观察所述受压面时，所述温度传感器元件与所述隔膜的至少一部分重叠。

由此可使隔膜与温度传感器元件之间的距离较短，从而能够通过温度传感器而更高精度地对压力传感器的温度(尤其是隔膜的温度)进行检测。

应用例3

在本应用例的物理量传感器装置中，优选为，所述物理量传感器在所述隔膜的与所述受压面相反的面侧具有压力基准室。

由此，能够较高精度地对所承受的物理量(尤其是压力)进行检测。

应用例4

在本应用例的物理量传感器装置中，优选为，所述物理量传感器具有输出与所述隔膜的挠曲相对应的信号的信号输出部。

由此，能够将所承受的物理量作为信号而取出。

应用例5

在本应用例的物理量传感器装置中，优选为，所述信号输出部具有被配置于所述隔膜上的压电电阻元件。

由此，信号输出部的结构将变得简单。

应用例6

优选为，本应用例的物理量传感器装置具有被配置于所述隔膜与所述温度传感器元件之间的树脂。

由此，能够保护隔膜。

应用例7

在本应用例的物理量传感器装置中，优选为，所述树脂为胶状或液状。

由此，能够将所受到的物理量有效地传递至隔膜。

应用例8

本应用例的高度计的特征在于，具备上述应用例的物理量传感器装置。

由此能够得到可靠性较高的高度计。

应用例9

本应用例的电子设备的特征在于，具有上述应用例的物理量传感器装置。

由此，能够获得可靠性较高的电子设备。

应用例10

本应用例的移动体的特征在于，具有上述应用例的物理量传感器装置。

由此，能够获得可靠性较高的移动体。

附图说明

图1为表示本发明实施方式1所涉及的中物理量传感器装置的第一实施方式的剖视图。

图2为表示图1所示的物理量传感器装置的俯视图。

图3为表示图1所示的物理量传感器装置所具有的物理量传感器的剖视图。

图4为表示图3所示的物理量传感器所具有的压力传感器部的俯视图。

图5为表示包含有图4所示的压力传感器部的电路的图。

图6为表示本发明实施方式2所涉及的物理量传感器装置的俯视图。

图7为表示本发明的高度计的一个示例的立体图。

图8为表示本发明的电子设备的一个示例的主视图。

图9为表示本发明的移动体的一个示例的立体图。

具体实施方式

下面，根据附图所示的实施方式对本发明的物理量传感器装置、高度计、电子设备以及移动体进行详细说明。

1、物理量传感器装置

＜实施方式1＞