[发明专利]板状工件的搬出方法

权利要求书

1.一种板状工件的搬出方法，其是在磨削装置中利用搬出构件将实施了磨削加工的板状工件从卡盘工作台搬出的搬出方法，所述磨削装置具备：所述卡盘工作台，其抽吸保持板状工件；磨削构件，其对该卡盘工作台所抽吸保持的板状工件进行磨削加工；以及所述搬出构件，其保持被该磨削构件进行了磨削的板状工件并将板状工件从该卡盘工作台搬出，其中，

该卡盘工作台具备：多孔板，其具有抽吸保持板状工件的抽吸区域；框体，其使该抽吸区域敞开并围绕该多孔板的侧面和下表面；抽吸线，其形成于该框体的底面的中央部分，使该多孔板与抽吸源连通；以及清洗液供给线，其特征在于，

所述清洗液供给线形成于该框体的底面的外周部分处或该框体的内侧面上，使该多孔板与清洗液供给源连通，使清洗液从该抽吸区域的外周部分喷出，

所述板状工件的搬出方法包括：

外周上浮工序，一边利用该抽吸线使该多孔板与该抽吸源连通以通过该抽吸区域抽吸保持板状工件，一边将清洗液供给至该清洗液供给线，使清洗液从该抽吸区域的外周部分喷出，仅使板状工件的外周部从该抽吸区域上浮；

板状工件保持工序，利用该搬出构件来保持板状工件；以及

搬出工序，在该板状工件保持工序和该外周上浮工序后，切断该抽吸区域中的对板状工件的抽吸，使整个板状工件从该卡盘工作台分离，并将板状工件从该卡盘工作台搬出。