[发明专利]板状工件的搬出方法

说明书

本发明提供板状工件的搬出方法，其在将板状工件从卡盘工作台搬出时使磨削屑不会附着于板状工件的下表面上。通过实施下述工序：外周上浮工序，一边利用抽吸线使多孔板与抽吸源连通以通过抽吸区域抽吸保持板状工件，一边将清洗液供给至清洗液供给线，使清洗液从抽吸区域的外周部分喷出，仅使板状工件的外周部从抽吸区域上浮；板状工件保持工序，利用搬出构件保持板状工件；以及搬出工序，使整个板状工件从卡盘工作台分离，并将板状工件从卡盘工作台搬出，由此，能够防止板状工件的外周部如吸盘那样贴附在抽吸区域上从而使得板状工件弯曲而破裂，并且能够防止在将板状工件从卡盘工作台搬出时磨削屑附着于板状工件的下表面。

技术领域

本发明涉及将保持在卡盘工作台上的板状工件搬出的方法。

背景技术

在具有对板状工件实施磨削的磨削磨具的磨削装置上，将保持在卡盘工作台上的板状工件磨削至期望的厚度后，在将板状工件从该卡盘工作台搬出时，例如利用搬出构件的抽吸垫来抽吸保持板状工件的上表面，并且，从卡盘工作台喷出气体(例如空气)或液体(例如清洗液)使板状工件上浮，然后通过使搬出构件上升来将板状工件从卡盘工作台搬出。

在仅从卡盘工作台喷出空气来使板状工件上浮的情况下，存在下述这样的情况：由于磨削时所使用的磨削液附着于板状工件的影响，从卡盘工作台喷出的空气使板状工件局部地上浮，从而导致板状工件破裂。另外，在对板状工件的中央部分喷射空气时，还存在下述这样的情况：仅该中央部分上浮，并且板状工件的外周部如吸盘那样贴附在卡盘工作台的保持面上，从而导致板状工件弯曲并破裂。

另一方面，在仅从卡盘工作台喷出清洗液来使板状工件上浮的情况下，为了使板状工件上浮需要相当长的时间。另外，由于在板状工件的保持面与板状工件的下表面之间存在液体，由此，液体的表面张力成为搬出板状工件时的障碍。

因此，提出有这样的技术：通过从卡盘工作台的保持面朝向板状工件的中央部分喷出将空气和清洗液混合而成的混合流体使板状工件上浮，由此使清洗液的表面张力降低，并防止板状工件局部地上浮(例如参照下述的专利文献1)。

专利文献1：日本特开2013-184269号公报

在此，存在这样的问题：在磨削板状工件时，磨削屑从板状工件的外周部侵入卡盘工作台的内部(多孔板)，在利用搬出构件将磨削后的板状工件从卡盘工作台搬出时，从卡盘工作台向板状工件的中央部分喷出上述那样的混合流体，从而将磨削屑从多孔板吹出并附着于板状工件的下表面。

另外，在将板状工件从卡盘工作台搬出时，通过从卡盘工作台向板状工件的中央部分喷出混合流体，虽然能够减少板状工件局部地上浮的担忧，但是，存在板状工件弯曲而破裂的情况，因此需要进行改善。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于，在使板状工件从卡盘工作台分离并将该板状工件搬出时，防止板状工件的破裂和磨削屑相对于板状工件的下表面的附着。