[发明专利]凹形间隔件晶圆孔洞及形成于其中的晶圆位准光学组件

权利要求书

1.一种晶圆位准光学组件，其包含：

间隔件晶圆，形成有多个孔洞，所述多个孔洞中的每一个具有在所述间隔件晶圆的平面横剖面中的凹形形状，且包含与所述平面横剖面相交的溢流区；以及

多个光学组件，所述多个光学组件中的每一个是由硬化的可流动材料形成于所述多个孔洞中的个别一个内并由薄膜包围，所述薄膜在其各自的孔洞中悬置光学组件；

其中形成所述多个光学组件的所述硬化的可流动材料的一部分扩展进入至其各自孔洞的溢流区内；以及

其中对于所述多个孔洞中的每一个，与所述孔洞的侧壁剖面正切的线与所述间隔件晶圆的平面表面形成斜角。

2.根据权利要求1所述的晶圆位准光学组件，其中所述凹形形状是多边形。

3.根据权利要求1所述的晶圆位准光学组件，其中所述凹形形状是多个几何形状的结合。

4.根据权利要求3所述的晶圆位准光学组件，其中所述多个几何形状中的一个是凸多边形或圆形。

5.根据权利要求1所述的晶圆位准光学组件，其中所述凹形形状是以反射对称及旋转对称中的一个或两个形成。

6.一种晶圆位准光学组件，包括：

间隔件晶圆，形成有多个孔洞，所述多个孔洞中的每一个具有在所述间隔件晶圆的平面横剖面中的凹形形状，且包含与所述平面横剖面相交的溢流区；以及

多个光学组件，所述多个光学组件中的每一个是由硬化的可流动材料形成于所述多个孔洞中的个别一个内并由薄膜包围，所述薄膜在其各自的孔洞中悬置光学组件；

其中形成所述多个光学组件的所述硬化的可流动材料的一部分扩展进入至其各自孔洞的溢流区内；以及

其中垂直于由两个平行的间隔件晶圆表面中的一个所界定的平面的线与薄膜及所述间隔件晶圆相交。

7.一种间隔件晶圆，其包含：

至少一个凹形孔洞，形成有在所述间隔件晶圆的平面横剖面中的凹形形状，且包含与所述平面横剖面相交的溢流区，其中与所述凹形孔洞的剖面侧壁上的一点正切的线相对于所述间隔件晶圆的平面表面成为斜角。

8.根据权利要求7所述的间隔件晶圆，其中所述凹形形状是多边形。

9.根据权利要求7所述的间隔件晶圆，其中所述凹形形状是多个几何形状的结合。

10.根据权利要求9所述的间隔件晶圆，其中所述多个几何形状中的一个选自由凸多边形、圆形、及椭圆形所组成的组群。

11.根据权利要求7所述的间隔件晶圆，其中所述凹形形状是以反射对称及旋转对称中的一个或两个形成。

12.一种间隔件晶圆，包括：

至少一个凹形孔洞，形成有在所述间隔件晶圆的平面横剖面中的凹形形状，且包含与所述平面横剖面相交的溢流区；

其中两个平行的间隔件晶圆表面中的一个界定平面，且垂直于所述平面的线与所述间隔件晶圆在一段距离内相交，所述距离比所述间隔件晶圆的厚度更短。

13.一种间隔件晶圆，包括：

至少一个凹形孔洞，形成有在所述间隔件晶圆的平面横剖面中的凹形形状，且包含与所述平面横剖面相交的溢流区；

其中所述凹形孔洞至少部分地由形成为异型剖面的孔洞侧壁的间隔件晶圆孔洞侧壁界定。

14.根据权利要求13所述的间隔件晶圆，其中所述异型剖面的孔洞侧壁至少在用于支撑薄膜的所述异型剖面的孔洞侧壁的一部分处以整型剖面形成，所述薄膜悬置光学组件。

15.根据权利要求13所述的间隔件晶圆，其中所述异型剖面的孔洞侧壁以凹形剖面形成。