[发明专利]凹形间隔件晶圆孔洞及形成于其中的晶圆位准光学组件

说明书

本发明揭示一种晶圆位准光学组件，及形成它们于其中的凹形间隔件晶圆孔洞。晶圆位准光学组件包含间隔件晶圆，其包含多个孔洞。各孔洞具有在间隔件晶圆的平面横剖面中的凹形形状，及与该平面横剖面相交的溢流区。晶圆位准光学组件亦包含光学组件的数组，数组的各光学组件是由硬化的可流动材料形成于多个孔洞的个别的一者内。形成各光学组件的硬化的可流动材料的一部分扩展进入至多个孔洞的个别孔洞的溢流区内。间隔件晶圆包含多个孔洞，多个孔洞中的每个具有在间隔件晶圆的平面横剖面中的凹形形状。多个孔洞中的每个包含与该平面横剖面相交的溢流区。

背景技术

在晶圆位准的相机透镜的制造中，间隔件晶圆包含间隔件晶圆孔洞的数组或图案。诸如可紫外线硬化的聚合物的液体系沉积至各孔洞内，且通过制造母体、模具、或压型机而被浇铸成型为中间的或最终的形状。浇铸成型的聚合物接着被硬化以形成固体透镜。

在浇铸成型的步骤中，过多的聚合物溢流自间隔件晶圆孔洞，若不适当处理时，其可减低生产产能。容纳溢流材料的一个方法在于定间隔件晶圆孔洞的尺寸，以不仅跨距透镜直径而且跨距其中收集溢流材料在内的制造母体与间隔件晶圆间的空位区或溢流区。但是，通过增加间隔件晶圆孔洞的直径，空位可能限制晶圆晶粒计数(每晶圆组成可被制造出的晶粒位准相机的数目)。空位亦可能在相机形成的影像中引入杂散光加工物。

在间隔件晶圆孔洞中所分配的聚合物体积的精准控制亦可降低由于聚合物溢流所导致之产能损失。然而，该控制的校准及维持将增加制造成本。

在使用诸如，悬置式透镜的悬置式晶圆位准光学组件的晶圆位准光学装置的制造处理中，高的产能需要各浇铸成型透镜对其个别的间隔件晶圆孔洞侧壁表面的充分黏着。为改善此表面黏着的先前技艺方法包含施加表面处理至间隔件晶圆孔洞的侧壁。

发明内容

依据一实施例，提供晶圆位准光学组件。晶圆位准光学组件包含具有多个孔洞的间隔件晶圆。各孔洞具有在间隔件晶圆的平面横剖面中的凹形形状。多个孔洞中的每个包含与该平面横剖面相交的溢流区。晶圆位准光学组件亦包含光学组件的数组，数组的各光学组件系由硬化的可流动材料形成于多个孔洞中个别的一个内。形成各光学组件的硬化的可流动材料的一部分扩展进入至多个孔洞中的个别孔洞的溢流区内。

依据另一实施例，提供间隔件晶圆。间隔件晶圆包含多个孔洞，多个孔洞中的每个具有在间隔件晶圆的平面横剖面中的凹形形状。多个孔洞中的每个包含与该平面横剖面相交的溢流区。

附图说明

图1显示结合至行动电话的相机模块内的先前技艺晶圆位准光学组件。

图2显示包含间隔件区及先前技艺间隔件晶圆孔洞的数组的先前技艺间隔件晶圆。

图3是先前技艺间隔件晶圆孔洞的平面视图。

图4是形成于先前技艺凸形间隔件晶圆孔洞内的先前技艺在口袋式晶圆位准光学组件的横剖面视图。

图5是形成于凸形间隔件晶圆孔洞内的先前技艺悬置式晶圆位准光学组件的横剖面视图。

图6显示实施例中的包含间隔件晶圆孔洞的数组的间隔件晶圆，其中至少一孔洞是凹形。

图7是实施例中的凹形间隔件晶圆孔洞的平面视图。

图8是实施例中的形成于图7的凹形间隔件晶圆孔洞内的在口袋式晶圆位准光学组件的第一横剖面视图。

图9是实施例中的形成于图7的凹形间隔件晶圆孔洞内的在口袋式晶圆位准光学组件的第二横剖面视图。

图10是实施例中的形成于凹形间隔件晶圆孔洞内，且由薄膜所悬置的悬置式晶圆位准光学组件的第一横剖面视图。

图11是实施例中的图10的悬置式晶圆位准光学组件的第二横剖面视图。

图12是实施例中的图6的间隔件晶圆部分中的凹形间隔件晶圆孔洞的平面视图。