[发明专利]描绘装置

权利要求书

1.一种描绘装置，其具有：描绘台，其载置基板；以及曝光描绘部，其与上述描绘台相对地进行移动，将图案描绘在该描绘台上的基板上，上述描绘装置的特征在于，

在上述描绘台上，设有多个基准标记以及被确定了相对于各上述基准标记的位置的多个标记形成单元，上述多个基准标记用于设定相对于上述曝光描绘部的位置基准，上述多个标记形成单元将对准标记形成在载置于该描绘台上的基板的反面上，所述基准标记与所述标记形成单元之间的位置关系在所述描绘台上是固定的。

2.根据权利要求1所述的描绘装置，其特征在于，

上述描绘台具有台主体以及位于该台主体上的盖板，上述标记形成单元由下述部分构成：贯穿设置在上述盖板上的至少一个贯通孔；以及由上述台主体支承的标记形成光源，上述标记形成光源从上述贯通孔射出标记形成光。

3.根据权利要求2所述的描绘装置，其特征在于，

在上述盖板上贯穿设置有多个形成上述标记形成单元的上述贯通孔，上述台主体具备标记形成光源，上述标记形成光源向多个上述贯通孔中的被选择的贯通孔射出标记形成光。

4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的描绘装置，其特征在于，

上述基准标记以及标记形成单元位于载置在上述描绘台上的基板的周缘部的相对的两边，且各自配备有一对。

5.根据权利要求1至3中的任意一项所述的描绘装置，其特征在于，

上述曝光描绘部具有对上述基准标记或对准标记进行拍摄的摄像单元，利用根据上述摄像单元所拍摄的基准标记位置信息而设定的坐标系，执行对上述基板的正面的图案描绘，利用根据上述摄像单元所拍摄的对准标记位置信息而设定的坐标系，执行将上述基板的正反翻转后进行的对基板反面的图案描绘。

6.根据权利要求1至3中的任意一项所述的描绘装置，其特征在于，

上述基准标记是来自可见光源的光点标记。