[发明专利]一种用于离线真空吸附基板的承载机构和基板传送方法

权利要求书

1.一种用于离线真空吸附基板的承载机构，其特征在于：包括设有夹持器的承载框(1)，所述承载框(1)上设置有真空吸附装置和分离装置，所述真空吸附装置用于对基板(5)进行吸附固定，所述分离装置用于将连接在一起的真空吸附装置和真空管(4)分开，并保持真空吸附装置对待运送基板(5)的持续吸附。

2.根据权利要求1所述的用于离线真空吸附基板的承载机构，其特征在于：所述真空吸附装置包括固定在承载框(1)一侧由多条相互连通的管路(21)构成的吸附架(2)，所述吸附架(2)上设置有与管路(21)相互连通的真空吸头(22)；所述真空管(4)与所述管路(21)连通。

3.根据权利要求2所述的用于离线真空吸附基板的承载机构，其特征在于：所述真空吸头(22)包括吸盘(221)和吸气管(222)，所述吸气管(222)的一端与吸盘(221)连通，另一端与管路(21)连通。

4.根据权利要求3所述的用于离线真空吸附基板的承载机构，其特征在于：所述吸附架(2)上设置有多个真空吸头(22)，多个所述真空吸头(22)上吸盘(221)的吸附面(223)位于同一平面上，且每个所述吸附面(223)均位于所述承载框(1)内。

5.根据权利要求1所述的用于离线真空吸附基板的承载机构，其特征在于：所述真空吸附装置包括固定在承载框(1)一侧的真空板(3)，所述真空板(3)具有中空腔体和位于承载框(1)内的吸附平面，所述吸附平面上设置有多个与所述中空腔体连通的吸附孔(31)，所述真空管(4)与所述中空腔体连通。

6.根据权利要求5所述的用于离线真空吸附基板的承载机构，其特征在于：多个所述吸附孔(31)在所述吸附平面上均匀分布。

7.根据权利要求1-6任一项所述的用于离线真空吸附基板的承载机构，其特征在于：所述分离装置包括设置在真空吸附装置上的第一接头和设置在真空管(4)上与第一接头配合的第二接头，所述第一接头上设置有截止阀。

8.根据权利要求7所述的用于离线真空吸附基板的承载机构，其特征在于：所述分离装置还包括气缸，所述气缸与第二接头连接，所述分离装置用于实现第一接头与第二接头在连接状态和断开状态之间的切换。

9.根据权利要求1所述的用于离线真空吸附基板的承载机构，其特征在于：所述夹持器设置有多个，多个所述夹持器成对设置在承载框(1)的两侧；背离所述真空吸附装置一侧的夹持器能够开合。

10.一种基板传送方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1，将基板(5)放入承载框(1)内，使用夹持器对基板(5)进行固定；

S2，利用真空吸附装置对基板(5)吸附固定；

S3，通过分离装置将真空吸附装置与真空管(4)分开，并保持真空吸附装置对待运送基板(5)的持续吸附。