[发明专利]一种用于离线真空吸附基板的承载机构和基板传送方法

说明书

技术领域

本发明涉及显示器设计制造技术领域，尤其涉及一种用于离线真空吸附玻璃基板的承载机构和基板传送方法。

背景技术

目前，如图1所示，在液晶显示器制造过程中需要对基板5’进行各种工艺，如对基板5’表面溅射各种离子，在溅射过程中需要基板5’直立并进行移动，现有的基板5’的移动过程中大多是通过夹持机构对基板5’进行加持固定，保证基板5’处于直立状态，然后再通过行走机构带动基板5’移动，虽然通过夹持机构能够实现基板5’在行走过程中保持直立状态，但是夹持机构主要是通过夹持器(如方块夹持器12’和三角夹持器11’)对基板5’进行固定，基板5’与夹持器之间存在一定的缝隙，在基板5’移动过程中存在基板5’晃动脱落的隐患；而对于现有技术中采用真空吸附装置对基板5’进行吸附，真空管始终与真空吸附装置连接，会随着基板5’一起移动，无法实现离线吸附，真空管可能会缠绕钩挂在其他装置上，影响基板5’的移动。

发明内容

(一)要解决的技术问题

本发明要解决的技术问题是：单独使用夹持机构对基板进行固定，在基板直立行走过程中存在晃动脱落的隐患；使用真空吸附装置对基板进行吸附固定，无法实现离线吸附，整个装置体积更大，限制了基板的移动。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种用于离线真空吸附基板的承载机构，包括设有夹持器的承载框，所述承载框上设置有真空吸附装置和分离装置，所述真空吸附装置用于对基板进行吸附固定，所述分离装置用于将连接在一起的真空吸附装置和真空管分开，并保持真空吸附装置对待运送基板的持续吸附。

其中，所述真空吸附装置包括固定在承载框一侧由多条相互连通的管路构成的吸附架，所述吸附架上设置有与管路相互连通的真空吸头；所述真空管与所述管路连通。

其中，所述真空吸头包括吸盘和吸气管，所述吸气管的一端与吸盘连通，另一端与管路连通。

其中，所述吸附架上设置有多个真空吸头，多个所述真空吸头上吸盘的吸附面位于同一平面上，且每个所述吸附面均位于所述承载框内。

其中，所述真空吸附装置包括固定在承载框一侧的真空板，所述真空板具有中空腔体和位于承载框内的吸附平面，所述吸附平面上设置有多个与所述中空腔体连通的吸附孔，所述真空管与所述中空腔体连通。

其中，多个所述吸附孔在所述吸附平面上均匀分布。

其中，所述分离装置包括设置在真空吸附装置上的第一接头和设置在真空管上与第一接头配合的第二接头，所述第一接头上设置有截止阀。

其中，所述分离装置还包括气缸，所述气缸与第二接头连接，所述分离装置用于实现第一接头与第二接头在连接状态和断开状态之间的切换。

其中，所述夹持器设置有多个，多个所述夹持器成对设置在承载框的两侧；背离所述真空吸附装置一侧的夹持器能够开合。

本发明还提供了一种基板传送方法，包括以下步骤：

S1，将基板放入承载框内，使用夹持器对基板进行固定；

S2，利用真空吸附装置对基板吸附固定；

S3，通过分离装置将真空吸附装置与真空管分开，并保持真空吸附装置对待运送基板的持续吸附。

(三)有益效果

本发明的上述技术方案具有如下优点：本发明提供的用于离线真空吸附基板的承载机构，在设有夹持器的承载框上设置真空吸附装置和分离装置，先通过夹持器对基板进行初步的固定，再通过真空吸附装置对基板进一步的固定，固定的更加牢靠，解决了单独使用夹持机构对基板固定时，基板在直立运输过程中存在晃动脱落的隐患的问题；同时，还设置了分离装置，所述分离装置能够将真空吸附装置和用于对真空吸附装置提供形成真空条件的真空管分开，同时在真空管与真空吸附装置分开后，真空吸附装置能够持续对基板进行吸附，实现离线吸附功能，真空管不会随着基板一起移动，避免了由于真空管的长度不够或者真空管缠绕钩挂在其他装置上影响基板的移动。

附图说明

本发明上述和/或附加方面的优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是现有的用于传送基板的承载机构的结构示意图；

图2是本发明实施例一所述的用于离线真空吸附基板的承载机构的示意图；

图3是本发明实施例一中真空吸头的结构示意图；

图4是本发明实施例二所述的用于离线真空吸附基板的承载机构的示意图。

其中图1至图4中附图标记与部件名称之间的对应关系为：