[发明专利]一种加热源及有机发光二极管的蒸镀机有效
申请号: | 201510355332.6 | 申请日: | 2015-06-24 |
公开(公告)号: | CN104988463B | 公开(公告)日: | 2018-11-06 |
发明(设计)人: | 匡友元 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/26 | 分类号: | C23C14/26 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;熊永强 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 热源 有机 发光二极管 蒸镀机 | ||
1.一种加热源,应用于有机发光二极管的蒸镀机内,以对所述蒸镀机内的加热容器进行加热,其特征在于:所述加热源包括加热线圈及防护件,所述防护件为绝缘材质,所述加热线圈的两端连接至电源,以接受电压来产生热量,所述防护件设置于所述加热线圈上,用于限制所述加热线圈的形变范围,从而限制所述加热线圈中的相邻两个加热丝接触,所述防护件包括绝缘架桥,所述加热线圈中的相邻两个加热丝之间设置有至少一个绝缘架桥,所述加热线圈中任一根加热丝两侧的所述绝缘架桥连接于该加热丝的不同位置。
2.如权利要求1所述的加热源,其特征在于,所述绝缘架桥为绝缘刚性连筋。
3.如权利要求1所述的加热源,其特征在于,所述绝缘架桥的材质为C/Csi复合材料。
4.如权利要求1所述的加热源,其特征在于,所述绝缘架桥与相邻的两个加热丝之间的夹角为90度。
5.如权利要求1所述的加热源,其特征在于,所述防护件还包括绝缘内衬,所述绝缘内衬设置于所述加热线圈内壁与所述加热容器之间,且所述绝缘内衬连接至所述加热线圈中的每根加热丝,以限制所述加热线圈的形变范围,从而限制所述加热线圈中的相邻两个加热丝接触。
6.如权利要求5所述的加热源,其特征在于,所述绝缘内衬为绝缘刚性连筋。
7.如权利要求5所述的加热源,其特征在于,所述加热源包括多个绝缘内衬,所述多个绝缘内衬均匀地排布于所述加热线圈内壁与所述加热容器之间的环形空间内。
8.如权利要求5所述的加热源,其特征在于,所述绝缘内衬的材质为C/Csi复合材料。
9.一种有机发光二极管的蒸镀机,包括加热容器及如权利要求1-8任一项所述的加热源,所述加热源设置于所述加热容器外侧,以对加热容器进行加热。
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