[发明专利]一种加热源及有机发光二极管的蒸镀机有效
申请号: | 201510355332.6 | 申请日: | 2015-06-24 |
公开(公告)号: | CN104988463B | 公开(公告)日: | 2018-11-06 |
发明(设计)人: | 匡友元 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/26 | 分类号: | C23C14/26 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;熊永强 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 热源 有机 发光二极管 蒸镀机 | ||
本发明公开一种加热源,应用于有机发光二极管的蒸镀机内,以对所述蒸镀机内的加热容器进行加热,其中,所述加热源包括加热线圈及防护件,所述防护件为绝缘材质,所述加热线圈的两端连接至电源,以接受电压来产生热量,所述防护件设置于所述加热线圈上,用于限制所述加热线圈的形变范围,从而限制所述加热线圈中的相邻两个加热丝接触,避免出现相邻两个加热丝短路的现象。因此,本发明降低了加热线圈短路的几率,提高加热线圈的稳定性,从而提供应用所述加热线圈的蒸镀机的稳定性。
技术领域
本发明涉及电子领域,尤其涉及一种加热源及有机发光二极管的蒸镀机。
背景技术
OLED(Organic Light-Emitting Diode,有机发光二极管)作为新一代的固态自发光显示技术,相较于液晶显示具有超薄、响应度高、对比度高、功耗低等优势,近几年产业化速度突飞猛进。目前OLED主流的制备技术和方法是蒸镀法,即在真空腔体内加热有机小分子材料,使其升华或者熔融气化成材料蒸汽,透过金属光罩的开孔沉积在玻璃基板上。随着越来越高世代的蒸镀机出现,所使用的坩埚也越来越大,加热源加热线圈也越来越大,线圈排布也越来越密集。因为加热线圈本身的热胀冷缩,和装载材料的坩埚经历热胀冷缩导致坩埚部分变形,使得相邻的线圈加热丝因这些外力而变形,导致相互触碰粘结,引起整个发热源短路,造成蒸镀机异常宕机,严重影响蒸镀机的稳定性。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于提供一种加热源及有机发光二极管的蒸镀机,以降低加热线圈短路的几率,提高加热线圈的稳定性,从而提供蒸镀机的稳定性。
为了实现上述目的,本发明实施方式提供如下技术方案:
本发明供了一种加热源,应用于有机发光二极管的蒸镀机内,以对所述蒸镀机内的加热容器进行加热,其中,所述加热源包括加热线圈及防护件,所述防护件为绝缘材质,所述加热线圈的两端连接至电源,以接受电压来产生热量,所述防护件设置于所述加热线圈上,用于限制所述加热线圈的形变范围,从而限制所述加热线圈中的相邻两个加热丝接触。
其中,所述防护件包括绝缘架桥,所述加热线圈中的相邻两个加热丝之间设置有至少一个绝缘架桥,以限制所述加热线圈中的相邻两个加热丝接触。
其中,所述绝缘架桥为绝缘刚性连筋。
其中,所述绝缘架桥的材质为C/Csi复合材料。
其中,所述绝缘架桥与相邻的两个加热丝之间的夹角为90度。
其中,所述防护件还包括绝缘内衬,所述绝缘内衬设置于所述加热线圈内壁与所述加热容器之间,且所述绝缘内衬连接至所述加热线圈中的每根加热丝,以限制所述加热线圈的形变范围,从而限制所述加热线圈中的相邻两个加热丝接触。
其中,所述绝缘内衬为绝缘刚性连筋。
其中,所述加热源包括多个绝缘内衬,所述多个绝缘内衬均匀地排布于所述加热线圈内壁与所述加热容器之间的环形空间内。
其中,所述绝缘内衬的材质为C/Csi复合材料。
本发明还提供一种有机发光二极管的蒸镀机,包括加热容器及上述的加热源,所述加热源设置于所述加热容器外侧,以对加热容器进行加热。
本发明一种加热源,应用于有机发光二极管的蒸镀机内,以对所述蒸镀机内的加热容器进行加热,其中,所述加热源包括加热线圈及防护件,所述防护件为绝缘材质,所述加热线圈的两端连接至电源,以接受电压来产生热量,所述防护件设置于所述加热线圈上,用于限制所述加热线圈的形变范围,从而限制所述加热线圈中的相邻两个加热丝接触,避免出现相邻两个加热丝短路的现象。因此,本发明降低了加热线圈短路的几率,提高加热线圈的稳定性,从而提供应用所述加热线圈的蒸镀机的稳定性。
附图说明
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