[发明专利]可配置的液态前体汽化器

权利要求书

1.一种汽化器，其包括：

第一汽化器板，所述第一汽化器板包括：

平坦的第一侧，

与所述第一侧相反的平坦的第二侧，以及

延伸通过所述第一汽化器板的一个或多个第一孔；

由所述第一侧至少部分地界定的一个或多个第一通道；

由所述第二侧至少部分地界定的一个或多个第二通道；

第一入口区；以及

第一出口区，其中：

所述第一汽化器板插设在所述第一入口区与所述第一出口区之间，

各第一通道横跨在所述第一孔之一与所述第一入口区之间，

各第二通道横跨在所述第一孔之一与所述第一出口区之间，

各第一孔流动地连接第一通道和第二通道，

各第一通道与所述第一入口区流体地连接，并且

各第二通道与所述第一出口区流体地连接，

所述一个或多个第一孔在平行于所述第一侧的方向上偏离所述第一入口区和所述第一出口区。

2.根据权利要求1所述的汽化器，进一步包括第一加热组件，所述第一加热组件包括：

第一加热台板，其与所述第一汽化器板的第一侧导热接触；以及

第一加热元件，其被构造成加热所述第一加热台板。

3.根据权利要求2所述的汽化器，其中所述第一加热元件是与所述第一加热台板导热接触的加热板。

4.根据权利要求2所述的汽化器，其中：

所述第一加热台板进一步包括台板入口孔，并且

所述台板入口孔与所述第一入口区流体地连接。

5.根据权利要求2所述的汽化器，其进一步包括第二加热组件，所述第二加热组件包括：

第二加热台板，其与所述第一汽化器板的第二侧导热接触；以及

第二加热元件，其被构造成加热所述第二加热台板，其中所述第一汽化器板插设在所述第一加热台板与所述第二加热台板之间。

6.根据权利要求5所述的汽化器，其中：

所述第二加热台板进一步包括台板出口孔；并且

所述台板出口孔与所述第一出口区流体地连接。

7.根据权利要求1所述的汽化器，其中所述第一汽化器板是包括所述第一侧与所述第二侧之间的加热元件的组件。

8.根据权利要求1所述的汽化器，其进一步包括一个或多个载气喷射器流动通道，其中：

各所述载气喷射器流动通道包括载气喷射器流动通道第一端和载气喷射器流动通道第二端；

各所述载气喷射器流动通道被构造成使载气流动；并且

各所述载气喷射器流动通道第二端在所述第一通道之一、所述第二通道之一或所述第一孔之一中终止。

9.根据权利要求8所述的汽化器，其中各所述载气喷射器通道第二端在第一孔中终止。

10.根据权利要求8所述的汽化器，其进一步包括载气喷射器，所述载气喷射器被构造成喷射载气到所述一个或多个载气喷射器流动通道中。

11.根据权利要求1所述的汽化器，进一步包括：

一个或多个气体喷射器流动通道，各气体喷射器流动通道被构造成在与所述第一侧垂直的方向上使载气流入到所述第一孔之一中。

12.根据权利要求11所述的汽化器，进一步包括：

气体充气室；以及

气体入口，其中：

所述气体充气室使所述气体入口与所述一个或多个气体喷射器流动通道流体地连接，并且

所述气体入口被构造成与气源连接。

13.根据权利要求1所述的汽化器，其中所述一个或多个第一通道跟随从所述第一入口区到所述一个或多个第一孔的直线路径。

14.根据权利要求1所述的汽化器，其中所述一个或多个第二通道跟随从所述一个或多个第一孔到所述第一出口区的直线路径。

15.根据权利要求1所述的汽化器，其中所述一个或多个第一通道跟随从所述第一入口区到所述一个或多个第一孔的非直线路径。

16.根据权利要求1所述的汽化器，其中所述一个或多个第二通道跟随从所述一个或多个第一孔到所述第一出口区的非直线路径。