[发明专利]光学延迟装置和光学相干层析成像装置

权利要求书

1.一种光学延迟装置包括：

具有第一反射表面和第二反射表面的第一后向反射器，所述第一反射表面与所述第二反射表面基本上彼此垂直；

具有第三反射表面和第四反射表面的第二后向反射器，所述第三反射表面和所述第四反射表面与所述第一反射表面相对并且基本上彼此垂直；

具有第五反射表面和第六反射表面的第三后向反射器，所述第五反射表面和所述第六反射表面与所述第二反射表面相对并且基本上彼此垂直；以及

第一驱动机构，所述第一驱动机构彼此相对移动所述第一后向反射器和所述第二后向反射器与所述第三后向反射器的组，

其中，在所述一反射表面与所述第二反射表面之间的第一相交线基本上垂直于在所述第三反射表面与所述第四反射表面之间的第二相交线，所述第二相交线基本上平行于在所述第五反射表面与所述第六反射表面之间的第三相交线，并且所述第二相交线与所述第三相交线在沿所述第一相交线的方向上彼此错位。

2.根据权利要求1所述的光学延迟装置，其中，在基本上垂直于所述第一相交线与所述第二相交线的方向上，所述第一驱动机构移动所述第一后向反射器。

3.根据权利要求1所述的光学延迟装置，其中，在基本上垂直于所述第一相交线与所述第二相交线的方向上，所述第一驱动机构移动所述第二后向反射器和所述第三后向反射器。

4.根据权利要求1所述的光学延迟装置，进一步包括：

具有第七反射表面的反射元件，所述第七反射表面与所述第一到第六反射表面中的一个相对；以及

第二驱动机构，所述第二驱动机构相对所述第一到第六反射表面中的一个移动所述反射元件。

5.根据权利要求4所述的光学延迟装置，其中，在基本上垂直于所述第一相交线与所述第二相交线的方向上，所述第二驱动机构移动所述反射元件。

6.一种光学延迟装置包括：

具有第一反射表面和第二反射表面的第一后向反射器，所述第一反射表面与所述第二反射表面基本上彼此垂直；

具有第三反射表面和第四反射表面的第二后向反射器，所述第三反射表面和所述第四反射表面与所述第一反射表面相对并且基本上彼此垂直；

具有第五反射表面和第六反射表面的第三后向反射器，所述第五反射表面和所述第六反射表面与所述第二反射表面相对并且基本上彼此垂直；

具有第七反射表面的反射元件，所述第七反射表面与所述第一到第六反射表面中的一个相对；以及

驱动机构，所述驱动机构相对所述第一到第六反射表面中的一个移动所述反射元件，

其中，在所述第一反射表面与所述第二反射表面之间的第一相交线基本上垂直于在所述第三反射表面与所述第四反射表面之间的第二相交线，所述第二相交线基本上平行于在所述第五反射表面与所述第六反射表面之间的第三相交线，并且所述第二相交线与所述第三相交线在沿所述第一相交线的方向上彼此错位。

7.根据权利要求6所述的光学延迟装置，其中，在基本上垂直于所述第一相交线与所述第二相交线的方向上，所述驱动机构移动所述反射元件。

8.一种光学相干层析成像装置包括：

光源，所述光源产生光束；

束分离光学元件，所述束分离光学元件将所述光束分离为第一分支光束和第二分支光束；

光学系统，所述光学系统施加所述第一分支光束到测量目标；

根据权利要求1到7中任一项所述的光学延迟装置，所述光学延迟装置延迟所述第二分支光束；

束组合光学元件，所述束组合光学元件组合从所述测量目标反射或散射的所述第一分支光束和通过光学延迟装置延迟的所述第二分支光束以获得组合的光束；以及

检测器，所述检测器检测所述组合的光束的强度中的变化。

9.根据权利要求8所述的光学相干层析成像装置，其中

所述光学系统包括图像侧远心物镜，并且

所述检测器包括成像所述组合的光的图像传感器。