[发明专利]一种等离子体注入处理截齿表面的工艺在审
| 申请号： | 201510388226.8 | 申请日： | 2015-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN104962874A | 公开（公告）日： | 2015-10-07 |
| 发明（设计）人： | 洪星 | 申请（专利权）人： | 安庆市灵宝机械有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 246100*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 注入 处理 表面 工艺 | ||
【权利要求书】：
1.一种等离子体注入处理截齿表面的工艺,其特征在于，包括以下步骤：
a、将待处理的截齿放入超声清洗剂中进行一次以上超声清洗，每次清洗时为为15min～20min；
b、将超声清洗处理后的截齿放入真空室，真空室内的真空度保持在1×10-2～2×10-2Pa；
c、释放脉冲偏压，脉冲宽度为40～60μs,脉冲频率为100～300Hz，释放电压60～80kv,释放时间为60～100min；
d、将含有N2、Ar和C2H2的混合气体通入真空室，气压控制在2×10-2～9×10-2Pa，释放脉冲偏压，脉冲宽度为60～80μs,脉冲频率为200～300Hz，释放电压40～60kv,释放时间为50～100min；
e、真空室恢复常压、冷却；处理完毕。
2.根据权利要求1所述的一种等离子体注入处理截齿表面的工艺,其特征在于所述的混合气体中N2、Ar和C2H2的百分比含量分别为65％、20％、15％。
3.根据权利要求1所述的一种等离子体注入处理截齿表面的工艺,其特征在于所述的步骤c中，释放脉冲偏压，脉冲宽度为55μs,脉冲频率为200Hz，释放电压65kv,释放时间为80min。
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