[发明专利]一种用于准分子激光器的气体循环系统有效
| 申请号： | 201510388921.4 | 申请日： | 2015-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN104953444B | 公开（公告）日： | 2018-05-01 |
| 发明（设计）人： | 沙鹏飞;单耀莹;彭卓君;宋兴亮;蔡茜玮;范元媛;李慧;赵江山;周翊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号： | H01S3/036 | 分类号： | H01S3/036 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100094*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 准分子激光 气体 循环系统 | ||
1.一种气体循环系统，用于循环准分子激光器的工作气体，所述准分子激光器包括腔体，该腔体具有进入管道和出气管道，其特征在于：
所述气体循环系统包括冷凝器(1)、氧气提供装置(2)、压缩机(3)和储气室(4)，所述储气室(4)分别与所述出气管道、冷凝器(1)、氧气提供装置(2)通过阀门连接；
所述氧气提供装置(2)用于向所述储气室(4)提供氧气，使得氧气与工作气体中的杂质反应从而去除杂质；
所述储气室(4)具有一定的容积，用于容纳由所述氧气提供装置(2)提供的氧气和来自所述腔体的工作气体，并使该氧气和该工作气体充分反应，生成反应气体；
所述冷凝器(1)用于对所述反应气体进行制冷，输出未被冷凝的气体；
所述压缩机(3)用于抽取所述冷凝器(4)中未被冷凝的气体并输送到所述腔体中。
2.如权利要求1所述的气体循环系统，其特征在于，所述工作气体包括稀有气体、卤素气体及缓冲气体。
3.如权利要求2所述的气体循环系统，其特征在于，所述稀有气体为Kr气或Ar气，所述卤素气体为氟气。
4.如权利要求1-3中任一项所述的气体循环系统，其特征在于，所述冷凝器内的温度为-80℃～-120℃。
5.如权利要求4所述的气体循环系统，其特征在于，所述冷凝器包括器壁(9)和包裹器壁(9)外围的绝缘层(10)，所述绝缘层(10)的结构为空腔结构，其内可以充入低温介质，用于保持所述器壁(9)的低温。
6.如权利要求5所述的气体循环系统，其特征在于，所述器壁(9)的内部填充有铜绒丝(11)。
7.如权利要求4所述的气体循环系统，其特征在于，还包括预混气提供装置(12)，其通过阀门连接于所述腔体的进气管道，用于为所述腔体提供初始的工作气体。
8.如权利要求4所述的气体循环系统，其特征在于，还包括卤素气体提供装置(13)，其通过阀门连接于所述腔体的进气管道，用于为所述腔体补充卤素气体。
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