[发明专利]掩模板、滤光片的制作方法以及液晶显示面板

权利要求书

1.一种掩模板，用于形成滤色片中的黑色矩阵，其特征在于，包括：

掩模板基板；

位于所述掩模板基板上，用于形成黑色矩阵中开口区的主图形，所述主图形具有角部；

位于所述主图形角部处的辅助图形，所述辅助图形用于改善曝光过程造成所述开口区的变形；

其中，所述主图形为位于一透光区域中的第一遮光图形，所述第一遮光图形的形状为一角处具有矩形缺口的矩形，所述第一遮光图形具有五个直角内角角部，所述第一遮光图形在所述矩形缺口处具有一个直角外角角部；

所述直角内角角部包括第一直角内角角部和第二直角内角角部，所述矩形缺口与第一直角内角角部和第二直角内角角部相邻；

所述辅助图形包括：与所述矩形缺口的内角一边相接的第一直角三角形遮光区，所述第一直角三角形遮光区一直角边与所述矩形缺口内角一边相接，另一直角边与第一直角内角角部的一边在同一条直线上；与所述矩形缺口的内角另一边相接的第二直角三角形遮光区，所述第二直角三角形遮光区的一直角边与所述矩形缺口内角另一边相接，另一直角边与第二直角内角角部的一边在同一条直线上，第一直角三角形遮光区和第二直角三角形遮光区在所述矩形缺口内形成锐角缺口。

2.如权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述辅助图形包括：五个第二遮光图形，分别位于所述第一遮光图形每个直角内角角部外侧；以及位于所述第一遮光图形直角外角角部内侧的第一透光缺口。

3.如权利要求2所述的掩模板，其特征在于，所述辅助图形包括：所述第二遮光图形为“L”形遮光区，所述第一透光缺口为“L”形透光区；所述“L”形遮光区的两边分别平行于每个所述直角内角角部的两边，所述“L”形透光区的两边分别平行于所述直角外角角部的两边；所述“L”形遮光区的两边夹角朝向所述直角内角角部，所述“L”形透光区的两边夹角朝向所述直角外角角部。

4.如权利要求3所述的掩模板，其特征在于，所述“L”形遮光区的两边长度分别在1～8μm的范围内，所述“L”形遮光区的两边宽度分别在1～5μm的范围内，所述“L”形遮光区的两边分别与直角内角角部的两边之间的间距在1～3μm的范围内。

5.如权利要求3所述的掩模板，其特征在于，所述“L”形透光区的两边长度分别在1～8μm的范围内，所述“L”形透光区的两边宽度分别在1～5μm的范围内，所述“L”形透光区的两边分别与直角外角角部的两边之间的间距在1～3μm的范围内。

6.如权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述主图形为位于一透光区域中的第三遮光图形，所述主图形的形状为由两条相平行的直线和两条相平行的折线构成的多边形；

所述多边形在两条折线的折角处分别具有钝角外角角部和钝角内角角部，所述钝角外角角部和钝角内角角部的角度之和为360度，所述辅助图形包括：

与所述钝角内角角部相接并位于所述主图形外侧的第四遮光图形，以及与所述钝角外角角部相接并位于所述主图形内的第二透光缺口。

7.如权利要求6所述的掩模板，其特征在于，所述第四遮光图形的形状为矩形，所述第二透光缺口的形状为矩形。

8.如权利要求6所述的掩模板，其特征在于，所述第四遮光图形的数量为一个或多个，所述第二透光缺口的数量为一个或多个。

9.一种滤光片的制作方法，其特征在于，包括：

提供基板；

在所述基板上形成光阻材料层；

采用如权利要求1至8中任意一项权利要求所述的掩模板对所述光阻材料层进行曝光；

对所述曝光后的光阻材料层进行显影，形成对应所述主图形的光阻结构。

10.一种液晶显示面板，其特征在于，包括：

采用如权利要求9所述滤光片的制作方法形成的滤光片；

阵列基板；

位于所述滤光片和阵列基板之间的液晶层。