[发明专利]掩模板、滤光片的制作方法以及液晶显示面板

说明书

一种掩模板、滤光片的制作方法以及液晶显示面板，本发明掩模板包括用于形成黑色矩阵中开口区的主图形，还包括位于所述主图形角部处的辅助图形，当采用所述掩模板对基板上的光阻材料层进行曝光时，所述辅助图形能够改善光在主图形边角处的衍射现象，使光阻材料层受光照射区域的形状与主图形的近似度更高，进而使实际形成的黑色矩阵中的开口区更接近掩模板中主图形的形状，能更好的与液晶显示装置中的阵列基板像素区的形状相匹配，防止开口区角部变形导致的漏光，并且提高液晶显示面板的开口率。

技术领域

本发明涉及平板显示领域，尤其涉及一种掩模板、滤光片的制作方法以及液晶显示面板。

背景技术

液晶显示装置以轻、薄、占地小、耗电小、辐射小等优点，广泛应用于各种数据处理设备中，例如电视、笔记本电脑、移动电话、个人数字助理等。

液晶显示面板是液晶显示装置中最主要的组成部分，所述液晶显示面板包括阵列基板、与所述阵列基板相对的滤色片、填充于阵列基板和滤色片之间的液晶，其中，在所述阵列基板上设有多个薄膜晶体管(Thin-Film Transistor,TFT)，通过薄膜晶体管控制控制液晶分子的旋转，以调节外界光的通过率，同时，与滤色片相配合达到彩色显示的目的。

参考图1，示出了现有技术一种滤色片的剖视图，所述滤色片包括：第一玻璃基板10、位于所述第一玻璃基板10上的黑色矩阵(Black Matrix，BM)11、位于黑色矩阵层开口中的彩色光阻层(RGB层)12、覆盖在所述黑色矩阵和彩色光阻层12上的平坦层(OC层)13、设置于所述平坦层13上的间隔柱(Photo Spacer，PS)14。其中，彩色光阻层12包括：蓝色(B)光阻121、红色(R)光阻122和绿色(G)123，用于分别透过白光中的蓝光、红光和绿光。

参考图2、图3，图2示出了一种现有技术用于形成的黑色矩阵的掩模板，图3示出了采用图2所示掩模板所形成相应的黑色矩阵的示意图。参考图2，所述掩模板包括用于形成黑色矩阵的透光区域21和用于形成开口区的遮光区域20，所述开口区即液晶显示面板中能够显示图像的像素区。

结合参考图3，相应形成的黑色矩阵31中具有开口区30。现有技术中掩膜图形的遮光区域21的角部22(23)通常为直角或者尖角的设计，但是由于光的绕射及衍射等原因，实际形成的开口区30中，角部32(33)多为圆角。这样容易造成滤光片中的开口区与阵列基板的像素区形状不匹配，还使得像素区的开口率缩小。为了避免开口率变小而导致整品质下降，就需要从工艺上进行补偿，如做小线宽或者调整光阻等，如此一来，工艺难度大大增加，工艺阈度也受到限制。尤其现在都在往高精细发展，本来线宽设计就比较小，这样对工艺要求就更加苛刻。

因此，如何使实际形成的黑色矩阵中的开口区更接近掩膜图形中遮光区域的设计形状，使滤光片更好的与液晶显示装置中的阵列基板相匹配，并提高像素区的开口率，成为本领域技术人员亟待解决的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种掩模板、滤光片的制作方法以及液晶显示面板，使实际形成的黑色矩阵中的开口区更接近掩膜图形中遮光区域的设计形状，能更好的与液晶显示装置中的阵列基板像素区的形状相匹配，防止开口区角部变形导致的漏光，并且提高液晶显示面板的透光率。

为此，本发明提供一种掩模板，用于形成滤色片中的黑色矩阵，包括：

掩模板基板；

位于所述掩模板基板上，用于形成黑色矩阵中开口区的主图形，所述主图形具有角部；

位于所述主图形角部处的辅助图形，所述辅助图形用于改善曝光过程造成所述开口区的变形。

可选的，所述主图形为位于一透光区域中的第一遮光图形，所述第一遮光图形的形状为一角处具有矩形缺口的矩形，所述第一遮光图形具有五个直角内角角部，所述第一遮光图形在所述矩形缺口处具有一个直角外角角部。