[发明专利]玻璃加工方法、玻璃蚀刻液、及玻璃基板有效
申请号: | 201510398272.6 | 申请日: | 2015-07-08 |
公开(公告)号: | CN105293934B | 公开(公告)日: | 2019-11-29 |
发明(设计)人: | 森本茂彦;尾花彻也;栗山温;植松照博 | 申请(专利权)人: | 东京应化工业株式会社;武蔵野精细玻璃株式会社 |
主分类号: | C03C15/00 | 分类号: | C03C15/00 |
代理公司: | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 葛凡<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 玻璃 加工 方法 蚀刻 | ||
1.一种玻璃加工方法,包括:
第一玻璃蚀刻工序,使用含有氢氟酸0.5质量%~20质量%、硝酸5.0质量%~25.0质量%、和氢氟酸及硝酸以外的无机酸0.5质量%~10质量%的第一玻璃蚀刻液,对在一对主平面上具有相同图案的蚀刻掩模的玻璃基板进行蚀刻;和
第二玻璃蚀刻工序,使用含有氢氟酸0.5质量%~20质量%、和硫酸10.0质量%~50.0质量%的第二玻璃蚀刻液,对在所述第一玻璃蚀刻工序中被蚀刻了的所述玻璃基板进行蚀刻,
其中,在所述第二玻璃蚀刻工序中被蚀刻了的所述玻璃基板是具有一对主表面、和与所述一对主表面大致垂直的端面的玻璃基板,
所述端面具有从所述一对主表面朝向所述玻璃基板的面方向外侧隆起的一对隆起部、位于所述一对隆起部之间且朝向所述玻璃基板的面方向内侧凹陷的凹陷部、和位于所述凹陷部的中央且朝向所述玻璃基板的面方向外侧突出的顶部,
所述一对隆起部的公共切线与所述顶部的顶端的距离为0mm以下,其中,在所述顶部的顶端与所述公共切线相比位于所述玻璃基板的面方向外侧时,将所述距离的符号设为正,在所述顶部的顶端与所述公共切线相比位于所述玻璃基板的面方向内侧时,将所述距离的符号设为负。
2.根据权利要求1所述的玻璃加工方法,其中,
所述第一玻璃蚀刻液和/或第二玻璃蚀刻液还含有螯合剂。
3.一种玻璃基板,利用权利要求1或2所述的玻璃加工方法进行加工而成。
4.一种玻璃基板,是具有一对主表面、和与所述一对主表面大致垂直的端面的玻璃基板,
所述端面具有从所述一对主表面朝向所述玻璃基板的面方向外侧隆起的一对隆起部、位于所述一对隆起部之间且朝向所述玻璃基板的面方向内侧凹陷的凹陷部、和位于所述凹陷部的中央且朝向所述玻璃基板的面方向外侧突出的顶部,
所述一对隆起部的公共切线与所述顶部的顶端的距离为0mm以下,其中,在所述顶部的顶端与所述公共切线相比位于所述玻璃基板的面方向外侧时,将所述距离的符号设为正,在所述顶部的顶端与所述公共切线相比位于所述玻璃基板的面方向内侧时,将所述距离的符号设为负。
5.根据权利要求4所述的玻璃基板,其中,
所述玻璃基板是通过对板状的玻璃基材从其两个主表面进行蚀刻从而裁切为所需的形状而成,所述玻璃基板具有一对主表面、和通过蚀刻裁切所述玻璃基材而形成且与所述一对主表面大致垂直的端面。
6.蚀刻液在权利要求1或2所述的玻璃加工方法中的所述第一蚀刻工序中的使用,其中,
所述蚀刻液含有氢氟酸0.5质量%~20质量%、硝酸5.0质量%~25.0质量%、和氢氟酸及硝酸以外的无机酸0.5质量%~10质量%。
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