[发明专利]检测应力、训练简化模型、释放应力的方法及计算系统

权利要求书

1.一种对包括了由不同材料形成的第一图案和第二图案的集成电路的应力进行检测的方法，该方法包括：

确定所述第一图案的一个或多个应力检测点；

确定N个区域，以使所述N个区域中的每一个区域均以所述一个或多个应力检测点中的第一应力检测点为中心点，其中，N是大于0的整数；

将所述N个区域中的每一个区域划分为M个分隔区，其中，M为大于1的整数；

计算所述第二图案在所述M个分隔区处的面积；以及

基于所述第二图案在所述M个分隔区处的面积来计算由所述第二图案施加至所述第一图案的第一应力检测点的应力水平。

2.根据权利要求1所述的方法，其中：

所述第一应力检测点包括下列各点中的至少一点：所述第一图案的凸点、所述第一图案的凹点、以及所述第一图案的投影点。

3.根据权利要求1所述的方法，其中：

遍及所述集成电路的全部区域来执行一个或多个应力检测点的确定以及应力水平的计算。

4.根据权利要求1所述的方法，其中：

确定所述N个区域的步骤包括：确定以所述第一应力检测点为中心点的矩形区域；以及

将所述N个区域中的每一个区域划分为M个分隔区的步骤包括：将所述矩形区域划分为第一分隔区至第四分隔区。

5.根据权利要求4所述的方法，其中计算应力水平的步骤包括：

对第一系数、第二系数与所述第二图案在第一分隔区处的面积的乘积、第三系数与所述第二图案在第二分隔区处的面积的乘积、第四系数与所述第二图案在第三分隔区处的面积的乘积以及第五系数与所述第二图案在第四分隔区处的面积的乘积进行求和计算，将计算结果作为所述应力水平。

6.根据权利要求1所述的方法，其中：

所述N个区域为具有不同尺寸的N个矩形区域，以使所述N个矩形区域中的每一个矩形区域均以所述第一应力检测点为中心点。

7.根据权利要求6所述的方法，其中计算应力水平的步骤包括：

使用含有所述第二图案在所述M个分隔区处的面积的L阶等式来计算应力水平，其中L为大于0的整数。

8.根据权利要求1所述的方法，其中：

所述N个区域为具有不同尺寸的N个圆形区域，以使所述N个圆形区域中的每一个圆形区域均以所述第一应力检测点为中心点。

9.根据权利要求1所述的方法，其中，

所述第一图案为有源图案，

所述第二图案为隔离层图案，并且

计算由所述隔离层图案施加至所述有源图案的第一应力检测点的应力水平。

10.一种被配置为对包括了由不同材料形成的第一图案和第二图案的集成电路的应力进行检测的计算系统，该计算系统包括：

存储装置，在其中加载了所述集成电路的布局数据和用于检测所述集成电路的应力的应力检测工具；以及

处理器，其被配置为执行加载在所述存储装置中的应力检测工具，以：

基于所述布局数据确定所述第一图案的一个或多个应力检测点，

确定N个区域，以使所述N个区域中的每一个区域均以所述一个或多个应力检测点中的第一应力检测点为中心点，其中，N是大于0的整数，

将所述N个区域中的每一个区域划分为M个分隔区，其中，M是大于1的整数，

计算所述第二图案在所述M个分隔区处的面积，并且

基于所述第二图案在所述M个分隔区处的面积来计算由所述第二图案施加至所述第一图案的第一应力检测点的应力水平。