[发明专利]一种真空减压装置

权利要求书

1.一种真空减压装置，其特征在于，包括：腔室、基台及整流装置，所述腔室上开设有多个抽气孔，所述基台设置于腔室内，且在基台上装载有待干燥的基板；所述整流装置设置于基台的上方，用于调整所述基板周围的气流；

所述整流装置包括多个整流罩，各所述整流罩的底部为敞口状，所述整流罩的表面开设有多个通孔，各个所述整流罩依次套设在一起，且相邻所述整流罩之间存在间隙。

2.根据权利要求1所述的真空减压装置，其特征在于，还包括：升降装置，所述升降装置与整流装置连接，用于带动所述整流装置在腔室内升降移动。

3.根据权利要求2所述的真空减压装置，其特征在于，所述升降装置包括驱动单元和伸缩杆，所述驱动单元设置在所述腔室的顶部，所述伸缩杆的一端与驱动单元连接，另一端伸入所述腔室且与所述整流装置连接。

4.根据权利要求1所述的真空减压装置，其特征在于，所述整流罩包括：框架及多个金属板，所述金属板分别围设在框架的侧面及顶部；所述多个通孔分别开设在金属板上。

5.根据权利要求4所述的真空减压装置，其特征在于，所述金属板与框架之间可拆卸连接。

6.根据权利要求4所述的真空减压装置，其特征在于，所述通孔的孔径由所述金属板的中心向其四周依次减小。

7.根据权利要求4所述的真空减压装置，其特征在于，所述通孔的孔径由所述金属板的中心向其四周依次增加。

8.根据权利要求1所述的真空减压装置，其特征在于，所述抽气孔分别开设在所述腔室的顶部、底部及侧部。